水蒸汽喷射泵抽气特性计算方法及其适用性

本文对三种喷射泵理论计算模型进行了分析 ,将计算结果与实验值进行了比较 ,根据三种理论模型在膨胀比 10～ 4 0 0 0范围内的计算误差 ,得出理论模型的可用性及适用的膨胀比范围。

矩形截面槽牵引分子泵分子流态下抽气特性的研究

本文对常见的矩形槽牵引泵在分子流态下的通道抽气机理进行了分析，建立了计算牵引泵抽气特性的数学模型，给出了等槽宽变槽深矩形牵引通道抽气特性的计算方法，对改进分子泵的设计具有实际意义。

溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气特性影响的数值研究

建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到了阳极筒内潘宁放电特性参数、气体离子入射阴极板能量和角度。引入非垂直入射溅射产额公式,计算得到阳极筒内壁溅射产额及抽气单元抽速。模拟计算结果与实验数据的对比表明,两者具有较好的一致性,验证了所建模型的适用性。基于所建计算模型,开展了溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气性能影响的数值研究。计算结果表明,阳极筒与阴极板间距对抽气单元的有效抽速有显著影响,并存在最优间距,该间距下抽气单元的抽速最大,同时最优间距随阳极筒半径增加而增大。基于模拟结果,提出了非等径、非等高阳极筒抽气单元阵列结构离子泵设计方案,为溅射离子泵的结构改进和性能优化提供了新的设计思路和可行路径。

制冷机工况变化对低温泵抽气特性的影响

低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷系统在长期运行中可能发生种种故障，使制冷工况发生变化。制冷机制冷工况的变化，对制冷机一，二级冷头的制冷量和制冷温度有明显影响，从而对低温泵抽气特性产生重大影响。

制冷机的负载对低温泵抽气特性的影响

现代低温泵的冷源是微型制冷机。制冷机在某些工况下，实际净制冷量随制冷温 度、氦压力差等因素而变化，一级冷头负载的大小对二级冷头温度也有明显的影响。本 文着重讨论了制冷机负载特性的变化对现代低温泵的抽速、极限压强、抽气容量等抽气特 性的影响。

微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究

为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响。在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性。对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值。

热流逸效应的抽真空特性分析

热流逸效应可输送气体并产生压力差,可利用其抽真空。本文建立了描述热流逸效应及其抽真空泵送特性的数学模型,以空气为例探讨了气体流态(努森数)、微通道特征尺寸和径长比以及温差等参数对压力比、净质量流量、抽速和无量纲抽气时间的影响。结果表明,压力比、净质量流量、抽速和无量纲抽气时间均随温差的增大而增大,但过大的温差对提高流量不明显且使抽真空达到稳态过程变得相对缓慢,应根据实际条件确定适宜温差。净质量流量和抽速随努森数增大而减小,且在过渡流区域还受径长比的影响;压力比和无量纲抽气时间在过渡流区域随努森数增大而增大,但在自由分子流区域与努森数无关;故应根据实际需求权衡净质量流量与压力比以确定适宜的热流逸发生条件、并控制气体流态来调整抽气特性。

盘型分子泵3D过渡流特性

采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究 ,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响。指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径。最后 ,进行了实验研究和模拟研究结果的对比 。

分子真空泵研究进展

分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所需解决的基本问题,从分子真空泵的结构优化、抽气特性的分析等方面,综述并预测了其发展趋势,以期为科研工作者提供借鉴。

混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比

为了进一步完善分子泵在整个流态区域内抽气性能的计算,本文分别对主要用于描述连续流体运动问题的连续流态方程法和主要用于描述分子流态问题的特征系数法进行了评价,两种方法在计算涡轮分子泵压缩比时有各自的适用范围。为了提高涡轮分子泵在过渡流态下压缩比的计算精度,本文在比较两种方法的计算精度和适用范围的基础上提出了混合分段算法。通过与实验值的对比,发现通过混合分段算法得到的最大压缩比与实验值的最大误差为10.5%,相对于连续流态方程法和特征系数法分别减小了34.0%和44.7%,证实了混合分段算法的适用性。该方法可以分析整个流态区域内涡轮分子泵的抽气性能,为分子泵压缩比的全流域计算提供参考。

超流氦低温系统减压降温泵组的设计及室温性能试验研究

为了研究减压降温泵组对氦气抽气性能,以及在不同工况下的系统控制能力,研制一套减压降温泵组用以验证其室温下的抽气特性,并搭建了一种氦减压降温泵组室温性能的测试平台。试验测试内容包括泵组对氦气的抽速、压力稳定性和极限压力等,测试结果表明,在所抽站点氦气压力为500—3100 Pa稳定运行时,泵组所控的压力稳定性可在±10 Pa范围内;同时泵组可满足负载160 W@2 K、80 W@1.8 K、10 W@1.5 K的室温工况需求;泵组对所抽站点的极限压力可达到250 Pa,试验验证了所选的减压降温泵组性能满足并优于设计需求。

径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用

通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜工艺,是在扩散泵和涡轮分子泵抽气能力的制约下总结出来的。径流泵机组的问世,为多弧离子镀膜提供了更加宽广的镀膜工艺选择空间。这样就有必要对抽气工艺和镀膜工艺进行重组和优化,进一步提升多弧离子镀膜设备的性能和经济效益。

低温机械真空泵机研制报告

本文提出了一种可在低温（２５Ｋ）工作的新型机械泵设计，并对其工业样机进行描述，由于气体密度与温度的变化成反比，对于给定的则言，该泵的质量流率大大高于室温下的质量流率。与在室温下相同质量流率的普通泵相比，这种设计的优点在于尺寸和重量的均可减少一个数量级，不同抽气级温度梯度可使排气压强达以最佳状态。该泵将解决达到连续抽氚气和尽量减少用于核聚变ｔｏｋａｍａｋｓ燃料循环控制的质量存量等问题。

油扩散泵的维修

本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值。