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静电MEMS器件的力电耦合分析与模拟
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作者 衣克洪 谢友宝 李尧忠 《航空精密制造技术》 2005年第5期48-50,共3页
分析了微机电系统中静电-结构耦合的拉入(pull-in)特性,比较了牛顿迭代法、松弛法、有限元/边界元混合法等方法求解静电-结构耦合问题的各自特点。
关键词 微机电系统 力电耦合 拉入电压 牛顿迭代法
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