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静电MEMS器件的力电耦合分析与模拟
1
作者
衣克洪
谢友宝
李尧忠
《航空精密制造技术》
2005年第5期48-50,共3页
分析了微机电系统中静电-结构耦合的拉入(pull-in)特性,比较了牛顿迭代法、松弛法、有限元/边界元混合法等方法求解静电-结构耦合问题的各自特点。
关键词
微机电系统
力电耦合
拉入电压
牛顿迭代法
原文传递
题名
静电MEMS器件的力电耦合分析与模拟
1
作者
衣克洪
谢友宝
李尧忠
机构
南昌航空工业学院
出处
《航空精密制造技术》
2005年第5期48-50,共3页
文摘
分析了微机电系统中静电-结构耦合的拉入(pull-in)特性,比较了牛顿迭代法、松弛法、有限元/边界元混合法等方法求解静电-结构耦合问题的各自特点。
关键词
微机电系统
力电耦合
拉入电压
牛顿迭代法
Keywords
microelectromechanical system
mechanical-electrical coupling
pull-in voltage
Newton iteration algorithm
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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作者
出处
发文年
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1
静电MEMS器件的力电耦合分析与模拟
衣克洪
谢友宝
李尧忠
《航空精密制造技术》
2005
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