指针式/数显式表面粗糙度测量仪校准方法探讨

介绍了指针式/数显式表面粗糙度测量仪的结构和工作原理,并就其校准项目和具体的校准方法进行了探讨。

触针式表面粗糙度测量仪(三十五)

第三十五讲 触针式表面粗糙度测量仪 1结构和工作原理 触针式表面粗糙度测量仪（以下简称仪器）通常由底座、传感器、驱动器、电子信号处理装置、计算机、打印机等部分组成。图1为常用仪器结构示意图。

激光表面粗糙度测量仪的研制

激光表面粗糙度测量仪利用半导体激光器为光源，激光束投射到试件表面经微观形貌调制而形成散射场，根据对散射场分布的处理测量表面粗糙度。接收半散射带的方法处理散射光分布，测量对试件的放置位置要求低（允许的最大倾斜度Ｘ向±２°，ｙ向±５°，测量距离偏差限为±２ｍｍ）；测量范围Ｒａ从０．００５μｍ到２μｍ，配置附件可对有特殊形面的试件和内表面的粗糙度进行测量．

便携式激光表面粗糙度测量仪

介绍了一种基于光散射原理的便携式激光表面粗糙度测量仪。它采用半导体激光器为光源，以远心光路结构接收、处理经粗糙表面调制的散射光带，成功地解决了粗糙度测量精度高低与测量范围大小相矛盾的问题。仪器结构简单、操作方便、测量效率高。

光纤型表面粗糙度比较测量仪的研制

本文简单论述根据光散射理论研制的表面粗糙度测量光纤传感器的结构特点,介绍了利用这种新型传感器构成的表面粗糙度比较测量仪的结构原理和性能分析。仪器实际测量精度为±20%,重复精度为±5%。

内表面粗糙度在线测量仪

为满足军工产品的在线测量需要 ,开发了一种基于光散射原理的便携式内表面粗糙度在线测量仪。它利用半导体激光器为光源 ,光电二极管阵列接收与表面粗糙度具有对应关系的散射光带。由于采用了远心光路的设计和对光源进行了电光调制成功地提高了仪器的测量精度和抗干扰性能。仪器的测量范围Ra:0 .0 0 5～ 1.6 μm ,测量相对误差δ<5 % ,测量重复性优于± 2 % ,适合对多种机加工形成的零件的内。

触针式表面粗糙度测量仪的性能指标及检测

描述了评价触针式表面粗糙度测量仪工作性能的几个主要技术指标,分析了这些指标对仪器测量精度的影响,介绍了这些技术指标的检测方法。

一种新型的表面粗糙度测量仪

】介绍了一种利用单片机为核心、以光纤为传感器的新型便携式表面粗糙度测量仪的测量原理，硬件电路及软件设计。该仪器具有工作效率高、体积小、测量可靠、操作方便、成本低等特点，特别适用于生产现场的成批零件检验或抽检。

轴承内、外圈沟道激光表面粗糙度测量仪

激光表面粗糙度测量仪基于激光散射的原理，采用体积小、寿命长的半导体激光器为光源，用光纤自准直棒处理半导体激光束，以远心光路结构接收经试件表面粗糙度调制的散射光带，在单片微机控制下，光电转换阵列将散射光带光能转化为电信号，经一系列处理后，由计算机求出反映表面粗糙度的光学散射特征值Ｓｎ。

散射式激光表面粗糙度测量仪

介绍一种基于激光在粗糙表面散射原理的便携式激光表面粗糙度测量仪。它是以小型的半导体激光器为光源，在光路结构上采用远心光路，并用半散射带法处理经试件微观形貌调制的散射光带，使得测量对试件的放置位置要求低（允许的倾斜度Ｘ向为±２°，Ｙ向为±５°，允许的测量距离偏差为±２ｍｍ），测量范围大（Ｒａ值为０．００５～２μｍ），成功地解决了测量准确度高低与测量范围大小相矛盾的粗糙度测量问题。配置附件可对有特殊形面的试件和内表面的粗糙度进行测量。该仪器结构简单、操作方便，准确度能满足生产实际的需要，适合于生产现场进行快速、无损检测。

表面粗糙度测量仪的微机改造

介绍了利用微机对表面粗糙度测量仪的改进设计 ,重点说明了系统的原理及软、硬件设计。

非接触式表面粗糙度测量仪

以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器、光学系统和计算机系统构成，其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现实时、在线、动态检测和控制．

表面粗糙度测量仪的工作原理分析及其改进方案

分析了传统表面粗糙度测量仪的基本原理 ,对采用计算机系统的改进方案进行了讨论 ,并指出其发展方向。

《触针式表面粗糙度测量仪校准规范》通过审定

由上海市计量院起草的《触针式表面粗糙度测量仪校准规范》国家计量法规近日通过专家审定，并上报国家质量监督检验检疫总局审批发布。

一种用于测量曲面轮廓的表面粗糙度测量仪

介绍了一种基于激光干涉原理可测量曲面轮廓的表面粗糙度测量仪的组成结构和测量原理 ,进行了相应的软件开发 。

一种新型轴承滚动体表面粗糙度非接触式测量仪的研制

本文介绍一种基于激光在粗糙表面散射原理的轴承滚动体表面粗糙度测量仪。散射光分布信号通过线阵CCD 接收,然后由微机进行处理。仪器采用会聚球面波作为入射光波,成功地解决了小曲率半径表面((?)3～(?)6mm)的粗糙度测量问题。试验研究表明,该仪器结构简单,操作方便,对环境要求不高,精度能满足生产实际的需要,适合于生产现场附近进行快速、无损检测。

钢球表面粗糙度测量仪的改进

介绍了钢球表面粗糙度测量仪的基本设计原理、主要技术参数与仪器的基本结构和特点,主要对改进的机械结构进行了详细说明,测量数据表明,改进后测量仪的测量速度快,精度高,且不损伤被测钢球。

DRNI型磁盘表面粗糙度非接触测量仪

本文论述了研制成的一种用于计算机硬盘盘片等超精密表面粗糙度非接触测量的智能化仪器;提出了基于外差干涉原理的平行双光束设计方案,简述了该测量仪结构、光学系统、驱动控制系统、光电转换系统、数据处理系统及精密定位系统;给出了表面粗糙度多刻线标准样板以及磁盘表面粗糙度的实测曲线.测试结果表明,该测量仪的示值误差优于3%,示值变动性小于±3%,可实现自动调焦自动测量.

非接触高准确度表面粗糙度测量仪

本文介绍一种具有纳米级测量准确度的非接触光探针扫描轮廓仪，其分辨力为１ｎｍ，量程１０μｍ。

触针式表面粗糙度测量仪整机性能指标的分析与测量

一、概述 目前,国内外轮廓法触针式表面粗糙度测量仪按其传感器的类型和测量方法的不同,主要可以分为如下几种形式:按接触式测量方式工作的仪器有电感式表面粗糙度测量仪和压电式表面粗糙度测量仪,按非接触式测量方式工作的仪器有激光光触针式表面粗糙度测量仪等。我国在1985年参照国际标准ISO1880—1979《轮廓法表面粗糙度测量仪—接触(触针)