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CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法
被引量:
2
1
作者
李金儒
陈宝钦
+1 位作者
汤跃科
薛丽君
《微细加工技术》
2006年第2期5-7,20,共4页
给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法。首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩...
给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法。首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形。本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量。另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割。
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关键词
微光刻图形
数据格式转换
挖空多边形
图形切割
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职称材料
题名
CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法
被引量:
2
1
作者
李金儒
陈宝钦
汤跃科
薛丽君
机构
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室
出处
《微细加工技术》
2006年第2期5-7,20,共4页
基金
国家重点基础研究项目资助(G2000036504
2002CB311907
+5 种基金
2002AA325040)
国家自然科学基金资助项目(60290081
60276019
90207004
60376020
60236010)
文摘
给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法。首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形。本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量。另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割。
关键词
微光刻图形
数据格式转换
挖空多边形
图形切割
Keywords
microlithography pattern
data format conversion
center-hollowed polygon
graphics division
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TP301.6 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法
李金儒
陈宝钦
汤跃科
薛丽君
《微细加工技术》
2006
2
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