新型MEMS压电微能源驱动的乳化液泵站ZigBee振动监测系统研究

为确保矿用乳化液泵站安全运行,提出一种基于新型MEMS压电能量收集器的振动状态监测系统。器件为8悬臂梁-中心质量块结构,利用MEMS加工工艺制造,总体尺寸为7 000μm×7 000μm×400μm;能源管理模块以LTC3331为核心设计,可稳定输出3.3 V直流电压;无线传感网络基于ZigBee技术构建,终端节点的振动加速度采样率控制在10 Hz。经振动台系统测试表明,微能源阵列输出电压最大可达1.47 V,系统供电稳定性较好;在30 m内节点具有良好的传输可靠性和实时性。