参数设定对原子力显微镜测试的影响

研究了不同的测试模式、线扫描点、扫描速率、积分增益和振幅设置对原子力显微镜测试的影响,比较了在不同的测定参数下样品的成像质量、槽深和粗糙度。结果表明,随着线扫描点的增加和扫描速率的降低,成像所需的扫描时间也随之增加,但扫描点越多,图像越精细。积分增益越大,系统响应的越快,但系统的噪音也会随之增加。振幅设置对软样品的影响比对硬样品的大。结合实际操作,还简单介绍了一些原子力显微镜测试的经验。