期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究
1
作者
魏王慧
董翊
+4 位作者
常燕
于瑞祥
姜阳
任逸尘
高艳秋
《低温与特气》
CAS
2023年第6期12-16,共5页
配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积...
配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH+4的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。
展开更多
关键词
电子特气
水溶性杂质
离子色谱
气体吸收
捕集参数
下载PDF
职称材料
题名
电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究
1
作者
魏王慧
董翊
常燕
于瑞祥
姜阳
任逸尘
高艳秋
机构
上海市计量测试技术研究院
出处
《低温与特气》
CAS
2023年第6期12-16,共5页
基金
国家市场监督管理局项目(2020MK028)。
文摘
配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH+4的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。
关键词
电子特气
水溶性杂质
离子色谱
气体吸收
捕集参数
Keywords
electronic specialty gas
water soluble impurity
ion chromatography
gas absorption
capture parameters
分类号
O657.71 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究
魏王慧
董翊
常燕
于瑞祥
姜阳
任逸尘
高艳秋
《低温与特气》
CAS
2023
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部