TN248.2 2002020945光栅掠入射腔对 ArF 激光线宽的压缩和调谐=Com-pression of spectral width and wavelengh tune ofArF lasers by using swept grating[刊,中]/陈进,王杰,王鹏,姚建铨(天津大学精密仪器与光电子工程学院,教育部光电...TN248.2 2002020945光栅掠入射腔对 ArF 激光线宽的压缩和调谐=Com-pression of spectral width and wavelengh tune ofArF lasers by using swept grating[刊,中]/陈进,王杰,王鹏,姚建铨(天津大学精密仪器与光电子工程学院,教育部光电信息技术科学重点实验室.天津(300072))∥光电子·激光.—2001,12(5).展开更多
文摘对国内首次研制成功的 Ar F准分子激光器实现了窄线宽可调谐运转 ,提出并利用光栅掠入射腔实现了线宽小于 0 .0 2 0 nm的窄线宽和连续调谐运转 ,注入到放大级实现了脉冲能量大于 40 m J的窄线宽可调谐激光输出。设计利用氧气吸收光谱对处于真空紫外的 Ar F激光实现了波长标定和线宽的准确测量。
文摘TN248.2 2002020945光栅掠入射腔对 ArF 激光线宽的压缩和调谐=Com-pression of spectral width and wavelengh tune ofArF lasers by using swept grating[刊,中]/陈进,王杰,王鹏,姚建铨(天津大学精密仪器与光电子工程学院,教育部光电信息技术科学重点实验室.天津(300072))∥光电子·激光.—2001,12(5).