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下一代光刻技术的EUV光源收集系统的发展
被引量:
1
1
作者
左保军
祝东远
+1 位作者
张树青
李润顺
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1163-1167,共5页
当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收...
当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收集EUV光源发出的辐射能成为了EUV光刻技术中的一大难题。本文主要介绍了国外在EUV光源收集系统方面的发展现状,描述了两大类EUV光源收集系统(垂直入射式和掠入射式)的一些设计形式和设计实例,并对各种设计形式的EUV收集系统进行了分析和比较。还重点介绍了目前被普遍看好的内嵌式掠入射WolterⅠ型收集系统的设计与加工等情况。
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关键词
光刻
EUV
垂直入射
式
掠入射式
收集效率
内嵌
式
WolterⅠ型
下载PDF
职称材料
光栅掠入射腔钛宝石激光器
2
作者
吴路生
殷绍唐
《激光与光电子学进展》
CSCD
1996年第7期85-85,共1页
关键词
钛宝石激光器
光栅
掠入射式
谐振腔
原文传递
题名
下一代光刻技术的EUV光源收集系统的发展
被引量:
1
1
作者
左保军
祝东远
张树青
李润顺
机构
哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1163-1167,共5页
文摘
当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收集EUV光源发出的辐射能成为了EUV光刻技术中的一大难题。本文主要介绍了国外在EUV光源收集系统方面的发展现状,描述了两大类EUV光源收集系统(垂直入射式和掠入射式)的一些设计形式和设计实例,并对各种设计形式的EUV收集系统进行了分析和比较。还重点介绍了目前被普遍看好的内嵌式掠入射WolterⅠ型收集系统的设计与加工等情况。
关键词
光刻
EUV
垂直入射
式
掠入射式
收集效率
内嵌
式
WolterⅠ型
Keywords
lithography
EUV
normal incidence
grazing incidence
collection efficiency
nested
WolterⅠ
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
光栅掠入射腔钛宝石激光器
2
作者
吴路生
殷绍唐
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
1996年第7期85-85,共1页
关键词
钛宝石激光器
光栅
掠入射式
谐振腔
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
下一代光刻技术的EUV光源收集系统的发展
左保军
祝东远
张树青
李润顺
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
2
光栅掠入射腔钛宝石激光器
吴路生
殷绍唐
《激光与光电子学进展》
CSCD
1996
0
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