气体原子对多层膜X射线反射特性的影响

多层膜中气体原子能够增加入射X射线散射,减低多层膜衍射反射率.当薄膜有气体原子存在时,通常用平均散射因子代替本体材料散射因子计算薄膜的光学常数.这样的处理方法是非常简单的,鉴于此,提出了一新方法研究气体原子对薄膜X射线反射特性的影响.理论分析表明:气体原子对薄膜反射特性的影响与掠入射角度、波长有关 波长越短和掠入射角度越大,气体原子的影响就越大,反之就越小.实验结果证明理论分析是正确的.