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薄膜特性的掠发射X射线荧光分析
被引量:
1
1
作者
巩岩
陈波
+2 位作者
尼启良
赵红颖
曹健林
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期1199-1202,共4页
掠射X射线荧光分析技术是实验室分析薄膜特性的一种重要工具。文章简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种可在实验室里实现薄膜特性测试的掠发射X射线荧光分析装置,该装置采用波长色散方式结合超薄窗流气...
掠射X射线荧光分析技术是实验室分析薄膜特性的一种重要工具。文章简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种可在实验室里实现薄膜特性测试的掠发射X射线荧光分析装置,该装置采用波长色散方式结合超薄窗流气正比计数管,可实现对轻元素的探测。最后从理论上计算了Si片上不同厚度的几种单层薄膜的X射线荧光强度和掠出射角的依赖关系。证明了掠发射X射线荧光分析是一种精确的分析薄膜厚度等特性的方法。
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关键词
薄膜分析
掠
发射x射线荧光分析
技术原理
X射线荧光强度
掠出射角
薄膜厚度
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职称材料
题名
薄膜特性的掠发射X射线荧光分析
被引量:
1
1
作者
巩岩
陈波
尼启良
赵红颖
曹健林
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
北京大学遥感与地理信息研究所
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期1199-1202,共4页
基金
国家自然科学基金
中科院应用光学国家重点实验室课题基金
文摘
掠射X射线荧光分析技术是实验室分析薄膜特性的一种重要工具。文章简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种可在实验室里实现薄膜特性测试的掠发射X射线荧光分析装置,该装置采用波长色散方式结合超薄窗流气正比计数管,可实现对轻元素的探测。最后从理论上计算了Si片上不同厚度的几种单层薄膜的X射线荧光强度和掠出射角的依赖关系。证明了掠发射X射线荧光分析是一种精确的分析薄膜厚度等特性的方法。
关键词
薄膜分析
掠
发射x射线荧光分析
技术原理
X射线荧光强度
掠出射角
薄膜厚度
Keywords
X-ray fluorescence analysis
film grazing emission
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜特性的掠发射X射线荧光分析
巩岩
陈波
尼启良
赵红颖
曹健林
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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职称材料
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