根据某吹风试验台对测试环境和测试精度的要求,介绍了一种基于 CAN 总线的探针定位系统。设计了 CAN 总线与 PC 机、下位微处理器间数据转换电路,利用 CAN 总线处理 PC 机与多个下位微处理器间的数据通讯,实现了试验台的远距离实时控制...根据某吹风试验台对测试环境和测试精度的要求,介绍了一种基于 CAN 总线的探针定位系统。设计了 CAN 总线与 PC 机、下位微处理器间数据转换电路,利用 CAN 总线处理 PC 机与多个下位微处理器间的数据通讯,实现了试验台的远距离实时控制和多探针协调动作。介绍电流环、速度环和位置环相结合的位置伺服控制模块,提高了探针的定位精度,保证吹风实验中数据的准确性。试验结果表明该系统有效地解决了对空气流场的分布式高精度测量问题。展开更多
由于受到驱动器PZT(Pb Zr Ti O3)非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM)探针在任务空间的位置存在不确定性。这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性,实现AFM探针的精确定位成为亟待解决...由于受到驱动器PZT(Pb Zr Ti O3)非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM)探针在任务空间的位置存在不确定性。这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性,实现AFM探针的精确定位成为亟待解决的问题。针对此问题,提出用概率分布的方式描述探针位置的不确定性,通过建立探针运动模型,结合基于局部扫描的观测模型,采用Kalman滤波对探针位置进行最优估算。针对算法的实现,设计了模型参数标定方案。通过仿真和实验的结果验证了算法的有效性与可行性,实现了探针在任务空间中的精确定位,提高了纳米操作效率。展开更多
在原子力显微镜(atomic force microscopy, AFM)机器人化纳米操作中,由于探针在任务空间中位置不确定性随着时间和探针移动的增加而逐渐增大,使得探针无法精确定位,导致纳米操作效率低下.针对此问题,本文参考宏观机器人利用路标定位的策...在原子力显微镜(atomic force microscopy, AFM)机器人化纳米操作中,由于探针在任务空间中位置不确定性随着时间和探针移动的增加而逐渐增大,使得探针无法精确定位,导致纳米操作效率低下.针对此问题,本文参考宏观机器人利用路标定位的策略,提出基于概率分布区间的探针路径规划方法,在分析路标观测中探针定位精度的基础上,通过定义概率分布区间规划探针扫描路径以及观测距离,建立路标邻接矩阵.然后使用Dijkstra算法和蚁群算法对纳米操作的探针进行路径规划.仿真与实验结果验证了该方法的有效性.最后针对任务空间中缺乏路标的情况,提出主动配置路标方法,进一步有助于推动AFM纳米操作在微纳器件装配中的实际应用.展开更多
文摘根据某吹风试验台对测试环境和测试精度的要求,介绍了一种基于 CAN 总线的探针定位系统。设计了 CAN 总线与 PC 机、下位微处理器间数据转换电路,利用 CAN 总线处理 PC 机与多个下位微处理器间的数据通讯,实现了试验台的远距离实时控制和多探针协调动作。介绍电流环、速度环和位置环相结合的位置伺服控制模块,提高了探针的定位精度,保证吹风实验中数据的准确性。试验结果表明该系统有效地解决了对空气流场的分布式高精度测量问题。
文摘由于受到驱动器PZT(Pb Zr Ti O3)非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM)探针在任务空间的位置存在不确定性。这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性,实现AFM探针的精确定位成为亟待解决的问题。针对此问题,提出用概率分布的方式描述探针位置的不确定性,通过建立探针运动模型,结合基于局部扫描的观测模型,采用Kalman滤波对探针位置进行最优估算。针对算法的实现,设计了模型参数标定方案。通过仿真和实验的结果验证了算法的有效性与可行性,实现了探针在任务空间中的精确定位,提高了纳米操作效率。
文摘在原子力显微镜(atomic force microscopy, AFM)机器人化纳米操作中,由于探针在任务空间中位置不确定性随着时间和探针移动的增加而逐渐增大,使得探针无法精确定位,导致纳米操作效率低下.针对此问题,本文参考宏观机器人利用路标定位的策略,提出基于概率分布区间的探针路径规划方法,在分析路标观测中探针定位精度的基础上,通过定义概率分布区间规划探针扫描路径以及观测距离,建立路标邻接矩阵.然后使用Dijkstra算法和蚁群算法对纳米操作的探针进行路径规划.仿真与实验结果验证了该方法的有效性.最后针对任务空间中缺乏路标的情况,提出主动配置路标方法,进一步有助于推动AFM纳米操作在微纳器件装配中的实际应用.