自动检测设备高温下测试坐标修正方法

硅晶圆半导体芯片在进行晶圆级电性能测量时,往往需要模拟芯片实际工作时的工作环境,如温度、湿度、气压。在自动探针台上进行高温环境模拟测试时,由于高温会导致测针、晶圆片和承片卡盘产生一定程度的形变,从而使得芯片上测试Pad位置坐标发生偏移,这种情况下,测试系统需要对形变后的测试点坐标进行修正。提出了一种基于机器视觉自动图形识别的在线修正测试点坐标偏移方法,用以解决自动探针台在高温环境下进行电性能测试时的测试坐标修正难题。

微波探针台屏蔽腔体的设计及仿真

从微波探针台用途及应用领域出发,介绍了微波探针台屏蔽腔体的作用及设计要求;通过使用CST软件中独有的精简模型仿真方法,对屏蔽腔体进行电磁仿真分析评估,并使用导电材料对其屏蔽效能进行了提升;最后对设备的特殊需求及后续发展进行展望。

测试回路杂散电感消除技术研究

由于测试回路中的杂散电感会在被测器件开通和关断的过程中感应出较高的电压尖峰,增大了被测器件的电压应力,严重影响被测器件相关参数的测试精度,甚至导致被测器件损坏。对高压探针测试系统测试回路中产生杂散电感的原理进行研究,通过仿真分析和优化设计,提出了一种在测试回路中采用叠层母排结构以降低杂散电感的解决办法。

矢量网络分析仪校准与程控研究

射频集成电路晶圆级S参数测试是射频器件制作过程中重要的工艺环节,该测试技术依赖微波探针测试系统,微波探针测试系统由矢量网络分析仪、探针、精密运动工作台、承片卡盘、机器视觉系统、测试电缆等组成。其中矢量网络分析仪是探针测试系统的测量工具,其测量精度和程控效率直接决定了该系统在片测量的准确度和工作效率。对矢量网络分析仪的工作原理、S参数物理意义、校准工艺、测量工艺做了详细地介绍,并给出了矢量网络分析仪上位机程控方法。