纳米样板的制备及其精度分析

介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等;用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板,并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析。

纳米测量及纳米样板

介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状 .提出了两种制备纳米结构样板的方法 :Si基底上的原子力显微镜 (AFM )探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺 .