接触式台阶测量仪常见故障的调修

介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。