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非接触式行程开关在燃气管线阀室电液联动阀中的应用
1
作者
彭超龙
《城市燃气》
2019年第3期19-22,共4页
位置行程开关作为阀门状态反馈的关键设备,在保证长输燃气管线安全稳定运行发挥着重要的作用。结合设备运行状况实例,对弹簧触点式行程开关失效的原因进行分析,提出了非接触式磁力开关加延时继电器的改造方案。
关键词
弹簧触点式行程
开关
失效分析
非
接触式
磁力
开关
延时继电器
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职称材料
接触式制动信号灯开关的系统性设计探讨
2
作者
马良
王健
+1 位作者
刘行
李溪
《汽车电器》
2019年第10期61-63,共3页
制动信号灯开关是乘用车的必要零件,低成本与高可靠性一直是车企追求的目标,接触式制动信号灯开关便是一种低成本方案。本文结合制动信号灯开关在整车的实际应用,总结了接触式制动信号灯开关满足可靠性的系统性设计要点,为车企提供了设...
制动信号灯开关是乘用车的必要零件,低成本与高可靠性一直是车企追求的目标,接触式制动信号灯开关便是一种低成本方案。本文结合制动信号灯开关在整车的实际应用,总结了接触式制动信号灯开关满足可靠性的系统性设计要点,为车企提供了设计方案。
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关键词
乘用车
接触式
制动信号灯
开关
系统性设计要点
电气参数
机械参数
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职称材料
MEMS悬臂式开关的失效分析
被引量:
4
3
作者
徐欣
郭方敏
+7 位作者
葛羽屏
李成诗
于绍欣
朱荣锦
赖宗声
朱自强
王跃林
陆卫
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004年第3期492-496,共5页
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法...
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。
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关键词
寿命
悬臂
接触式开关
驱动电压
失效
ANSYS
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职称材料
用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺
被引量:
3
4
作者
胡光伟
刘泽文
+1 位作者
侯智昊
李志坚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1213-1217,共5页
对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥...
对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜。最后,给出了完整的开关制备流程。与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1000次提高到了2.5×107次。此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗<0.55 dB@DC-10 GHz,隔离度>53.2 dB@DC-10 GHz。结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求。
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关键词
MEMS
开关
接触式开关
机械可靠性
侧向钻蚀
寿命
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职称材料
用于MEMS开关的低应力氮氧化硅桥膜
5
作者
胡光伟
刘泽文
+2 位作者
张忠惠
侯智昊
李志坚
《微细加工技术》
EI
2007年第3期48-53,59,共7页
给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比,用PECVD方法生成系列SiOxNy薄膜样品。利...
给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比,用PECVD方法生成系列SiOxNy薄膜样品。利用形貌仪测量样品的曲率半径,计算相应的应力。研究表明,当反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比为32∶12∶8(N2标定)时,可以得到张应力值为76.8 MPa的SiOxNy薄膜,其折射率为1.688,Si,N和O三种元素的成分比为56.3∶23.7∶20.0。将此薄膜生长工艺应用于开关制备,得到了适用于DC^10 GHz频段的MEMS接触式开关,其驱动电压为23.3 V。
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关键词
氮氧化硅
低应力
PECVD
MEMS
开关
接触式开关
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职称材料
智能电能表的开盖异常分析及优化
6
作者
王睿
赵长枢
+1 位作者
许文刚
杨东翰
《上海计量测试》
2021年第6期33-36,共4页
基于智能电能表在实际应用中的开盖记录异常情况,详细分析了其产生原因。在此基础上,针对智能电能表的开盖异常提出以光电检测装置代替传统接触式开关进行优化的建议,对光电检测回路的原理和结构进行分析,通过实验检测论证了优化设计的...
基于智能电能表在实际应用中的开盖记录异常情况,详细分析了其产生原因。在此基础上,针对智能电能表的开盖异常提出以光电检测装置代替传统接触式开关进行优化的建议,对光电检测回路的原理和结构进行分析,通过实验检测论证了优化设计的优越性和可行性。
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关键词
智能电能表
开盖记录
接触式开关
光电检测
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职称材料
如何加强输煤系统筛分机的安全运行
被引量:
2
7
作者
祁峰
熊民宏
《广东电力》
2006年第4期75-77,共3页
输煤系统筛分机在使用过程中,对后面的输煤设备起保护作用,若没有及时发现筛分机的安全销断裂,会对系统构成极大的危害。为此,通过分析近年来深圳能源集团妈湾发电总厂输煤系统筛分机运行中存在的问题,说明筛分机存在设计缺陷,提出从机...
输煤系统筛分机在使用过程中,对后面的输煤设备起保护作用,若没有及时发现筛分机的安全销断裂,会对系统构成极大的危害。为此,通过分析近年来深圳能源集团妈湾发电总厂输煤系统筛分机运行中存在的问题,说明筛分机存在设计缺陷,提出从机械和电气两方面措施改进。改造后,输煤系统及磨煤机没有因筛分机的问题出现影响机组运行的故障。
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关键词
输煤系统
筛分机
限位挡板
非
接触式
感应速度
开关
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职称材料
工业洗衣机中的水位控制
8
《自动化信息》
2001年第12M期31-31,共1页
关键词
工业洗衣机
水位控制
水阀
非
接触式
电容液位
开关
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职称材料
指触式十选一电子互锁开关
9
作者
周兴华
《中学科技》
2000年第8期40-40,共1页
关键词
电子制作
接触式
互锁
开关
多位
开关
电路原理
原文传递
题名
非接触式行程开关在燃气管线阀室电液联动阀中的应用
1
作者
彭超龙
机构
深圳市燃气集团股份有限公司
出处
《城市燃气》
2019年第3期19-22,共4页
文摘
位置行程开关作为阀门状态反馈的关键设备,在保证长输燃气管线安全稳定运行发挥着重要的作用。结合设备运行状况实例,对弹簧触点式行程开关失效的原因进行分析,提出了非接触式磁力开关加延时继电器的改造方案。
关键词
弹簧触点式行程
开关
失效分析
非
接触式
磁力
开关
延时继电器
Keywords
spring contact travel switch
failure analysis
contactless magnetic switch
time delay relay
分类号
TU996.7 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
接触式制动信号灯开关的系统性设计探讨
2
作者
马良
王健
刘行
李溪
机构
一汽轿车有限公司奔腾开发院
出处
《汽车电器》
2019年第10期61-63,共3页
文摘
制动信号灯开关是乘用车的必要零件,低成本与高可靠性一直是车企追求的目标,接触式制动信号灯开关便是一种低成本方案。本文结合制动信号灯开关在整车的实际应用,总结了接触式制动信号灯开关满足可靠性的系统性设计要点,为车企提供了设计方案。
关键词
乘用车
接触式
制动信号灯
开关
系统性设计要点
电气参数
机械参数
Keywords
passenger car
contact brake lamp switch
key points of systematic design
electrical parameters
mechanical parameters
分类号
U463.6 [机械工程—车辆工程]
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职称材料
题名
MEMS悬臂式开关的失效分析
被引量:
4
3
作者
徐欣
郭方敏
葛羽屏
李成诗
于绍欣
朱荣锦
赖宗声
朱自强
王跃林
陆卫
机构
华东师范大学信息科学和技术学院
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院上海技术物理所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004年第3期492-496,共5页
基金
国家 973<集成微光机电系统研究>(G19990 3 3 10 5 )
国家杰出青年基金 (6 992 5 4 0 9)
+1 种基金
国家自然科学基金 (1 0 374 0 95 )
上海 -应用材料研究与发展基金项目资助 (0 30 6 ) .
文摘
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。
关键词
寿命
悬臂
接触式开关
驱动电压
失效
ANSYS
Keywords
lifetime
cantilevered switch
threshold voltage
failure
ANSYS
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺
被引量:
3
4
作者
胡光伟
刘泽文
侯智昊
李志坚
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1213-1217,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60576048)
北京市科委基金资助项目(No.GYYKW05070014)
文摘
对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜。最后,给出了完整的开关制备流程。与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1000次提高到了2.5×107次。此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗<0.55 dB@DC-10 GHz,隔离度>53.2 dB@DC-10 GHz。结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求。
关键词
MEMS
开关
接触式开关
机械可靠性
侧向钻蚀
寿命
Keywords
MEMS switch
contact switch
mechanical reliability
isotropic undercutting
lifetime
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
TN62 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
用于MEMS开关的低应力氮氧化硅桥膜
5
作者
胡光伟
刘泽文
张忠惠
侯智昊
李志坚
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《微细加工技术》
EI
2007年第3期48-53,59,共7页
基金
北京市科委基金资助项目(GYYKW05070014)
文摘
给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比,用PECVD方法生成系列SiOxNy薄膜样品。利用形貌仪测量样品的曲率半径,计算相应的应力。研究表明,当反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比为32∶12∶8(N2标定)时,可以得到张应力值为76.8 MPa的SiOxNy薄膜,其折射率为1.688,Si,N和O三种元素的成分比为56.3∶23.7∶20.0。将此薄膜生长工艺应用于开关制备,得到了适用于DC^10 GHz频段的MEMS接触式开关,其驱动电压为23.3 V。
关键词
氮氧化硅
低应力
PECVD
MEMS
开关
接触式开关
Keywords
silicon oxynitride
low stress
PECVD
MEMS switch
contact switch
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
智能电能表的开盖异常分析及优化
6
作者
王睿
赵长枢
许文刚
杨东翰
机构
国网嘉兴供电公司
出处
《上海计量测试》
2021年第6期33-36,共4页
文摘
基于智能电能表在实际应用中的开盖记录异常情况,详细分析了其产生原因。在此基础上,针对智能电能表的开盖异常提出以光电检测装置代替传统接触式开关进行优化的建议,对光电检测回路的原理和结构进行分析,通过实验检测论证了优化设计的优越性和可行性。
关键词
智能电能表
开盖记录
接触式开关
光电检测
Keywords
smart watt smart meter
open record
contact switch
photoelectric detection
分类号
TM933.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
如何加强输煤系统筛分机的安全运行
被引量:
2
7
作者
祁峰
熊民宏
机构
深圳能源集团妈湾发电总厂燃料部
出处
《广东电力》
2006年第4期75-77,共3页
文摘
输煤系统筛分机在使用过程中,对后面的输煤设备起保护作用,若没有及时发现筛分机的安全销断裂,会对系统构成极大的危害。为此,通过分析近年来深圳能源集团妈湾发电总厂输煤系统筛分机运行中存在的问题,说明筛分机存在设计缺陷,提出从机械和电气两方面措施改进。改造后,输煤系统及磨煤机没有因筛分机的问题出现影响机组运行的故障。
关键词
输煤系统
筛分机
限位挡板
非
接触式
感应速度
开关
Keywords
coal transportation systems sifter
bound board
untouched switch for induced speed
分类号
TK223.24 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
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职称材料
题名
工业洗衣机中的水位控制
8
出处
《自动化信息》
2001年第12M期31-31,共1页
关键词
工业洗衣机
水位控制
水阀
非
接触式
电容液位
开关
分类号
TM925.33 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
指触式十选一电子互锁开关
9
作者
周兴华
出处
《中学科技》
2000年第8期40-40,共1页
关键词
电子制作
接触式
互锁
开关
多位
开关
电路原理
分类号
TM564 [电气工程—电器]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非接触式行程开关在燃气管线阀室电液联动阀中的应用
彭超龙
《城市燃气》
2019
0
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职称材料
2
接触式制动信号灯开关的系统性设计探讨
马良
王健
刘行
李溪
《汽车电器》
2019
0
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职称材料
3
MEMS悬臂式开关的失效分析
徐欣
郭方敏
葛羽屏
李成诗
于绍欣
朱荣锦
赖宗声
朱自强
王跃林
陆卫
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2004
4
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职称材料
4
用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺
胡光伟
刘泽文
侯智昊
李志坚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
下载PDF
职称材料
5
用于MEMS开关的低应力氮氧化硅桥膜
胡光伟
刘泽文
张忠惠
侯智昊
李志坚
《微细加工技术》
EI
2007
0
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职称材料
6
智能电能表的开盖异常分析及优化
王睿
赵长枢
许文刚
杨东翰
《上海计量测试》
2021
0
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职称材料
7
如何加强输煤系统筛分机的安全运行
祁峰
熊民宏
《广东电力》
2006
2
下载PDF
职称材料
8
工业洗衣机中的水位控制
《自动化信息》
2001
0
下载PDF
职称材料
9
指触式十选一电子互锁开关
周兴华
《中学科技》
2000
0
原文传递
已选择
0
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