非接触式行程开关在燃气管线阀室电液联动阀中的应用

位置行程开关作为阀门状态反馈的关键设备,在保证长输燃气管线安全稳定运行发挥着重要的作用。结合设备运行状况实例,对弹簧触点式行程开关失效的原因进行分析,提出了非接触式磁力开关加延时继电器的改造方案。

接触式制动信号灯开关的系统性设计探讨

制动信号灯开关是乘用车的必要零件,低成本与高可靠性一直是车企追求的目标,接触式制动信号灯开关便是一种低成本方案。本文结合制动信号灯开关在整车的实际应用,总结了接触式制动信号灯开关满足可靠性的系统性设计要点,为车企提供了设计方案。

MEMS悬臂式开关的失效分析

介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1～ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。

用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺

对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜。最后,给出了完整的开关制备流程。与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1000次提高到了2.5×107次。此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗<0.55 dB@DC-10 GHz,隔离度>53.2 dB@DC-10 GHz。结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求。

用于MEMS开关的低应力氮氧化硅桥膜

给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比,用PECVD方法生成系列SiOxNy薄膜样品。利用形貌仪测量样品的曲率半径,计算相应的应力。研究表明,当反应气体(SiH4,NH3和N2O)的流量比为32∶12∶8(N2标定)时,可以得到张应力值为76.8 MPa的SiOxNy薄膜,其折射率为1.688,Si,N和O三种元素的成分比为56.3∶23.7∶20.0。将此薄膜生长工艺应用于开关制备,得到了适用于DC^10 GHz频段的MEMS接触式开关,其驱动电压为23.3 V。

智能电能表的开盖异常分析及优化

基于智能电能表在实际应用中的开盖记录异常情况,详细分析了其产生原因。在此基础上,针对智能电能表的开盖异常提出以光电检测装置代替传统接触式开关进行优化的建议,对光电检测回路的原理和结构进行分析,通过实验检测论证了优化设计的优越性和可行性。

如何加强输煤系统筛分机的安全运行

输煤系统筛分机在使用过程中,对后面的输煤设备起保护作用,若没有及时发现筛分机的安全销断裂,会对系统构成极大的危害。为此,通过分析近年来深圳能源集团妈湾发电总厂输煤系统筛分机运行中存在的问题,说明筛分机存在设计缺陷,提出从机械和电气两方面措施改进。改造后,输煤系统及磨煤机没有因筛分机的问题出现影响机组运行的故障。