接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度 ,其长度测量不确定度达到 ( 0 .0 2 +0 .2 L )μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析 。

基于激光干涉仪的轮径测量器检具测量装置

以组合量块式轮径测量器检具为对象,分析了目前常用方法中存在的问题,提出了一种新的测量思路,并开发了基于激光干涉仪的测量方法和测量装置。通过测量不确定度的分析评定和实验的比对验证,证明该装置的测量能力是满足相关要求的,能够对组合量块式轮径测量器检具进行有效测量。

接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中引入误差的探讨

通过JJG 101-2004《接触式干涉仪》和JJG146-2011《量块》检定规程,本文探讨了接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中的引入误差,结果显示使用接触式干涉检定量块长度时,在极端条件下,工作台平面度引入的误差较大,可能会影响量块的合格评定。

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理 ,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术。该干涉仪满足 1等量块的测量不确定度要求 。

接触式干涉仪CCD智能化改造

本文介绍了一种将光电耦合器件CCD摄像技术 ,计算机图像处理技术引入传统的接触式干涉仪 ,实现量块检定光电化 ,智能化的检定系统及所用数据处理方法。

GLI—100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。

双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施

该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量。

接触式干涉仪CCD智能化改造

本文介绍了一种将光电耦合器件CCD摄像技术 ,计算机图像处理技术引入传统的接触式干涉仪 ,实现量块检定光电化、智能化的检定系统。

用量块标定双频激光干涉仪的新方法

本文叙述了一种用量块对双频激光干涉仪的长度不确定度进行检定的方法。并对测量系统的不确定度进行了分析研究,这是研究工作中的一个新尝试。实验及理论分析表明,这种方法测量结果可靠,能够满足有关国家标准中的检定要求,并且测量系统易于组成,对测量条件要求不高,具有一定实用价值。

接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量 ,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。

接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置

接触式干涉仪被广泛地用来检定（3～4）等量块,这种仪器的示值误差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一种不被注意的情况下，仪器的示值误差会达到0．3μm左右，这种情况在实际使用中又是可能出现的，因此有必要对此加以认识。

基于LM20测头的接触式干涉仪智能化改造

目前,大多数省级计量部门用于省内长度量块最高标准传递所使用的接触式干涉仪,均是六、七十年代设计生产的产品,存在诸多缺陷。本文介绍一种在稳定的机械结构基础上,用LM20测头代替原干涉仪测头,利用Delphi开发控制界面,建立控制箱和计算机的通信机制,从而控制测头上下移动,能智能化读取干涉仪数据并具有良好稳定性的量块检定方法。

新型的高精度量块长度测量装置——GLI-100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI-100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感,电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。

一种利用激光干涉非接触式测量玻璃厚度的新方法

本文提出一种结合激光与计算机实现非接触式测量玻璃等透明物体厚度的新方法。该方法基于迈克尔逊干涉仪,利用转动待测样品造成干涉条纹移动间接测量样品厚度,对器件要求较低,操作简便且不会对待测样品造成损坏。在大学物理实验室条件下,该方法测量精度即可达到0.1 mm。在此基础上,本文还提出了一套封装一体化改进设计方案,有利于提高便携性、测量便利性与精度。

对接触式干涉仪检定规程第 19 条规定的探讨

通过接触式干涉仪示值误差检定的方法误差分析以及新的三等量块比较法检定的误差分析，探讨用新的三等量块配对检定接触式干涉仪示值误差的可行性。

用双频激光干涉仪直接测量大尺寸专用量块

一、概述在机械行业中广泛使用游标卡尺,为便于卡尺的检定,多用“专用量块组”检定其示值误差。为此,需要建立一套传递标准,这是不经济的。我厂试用HP5528A双频激光干涉仪作基准与KMZ-W151210三座标测量机联合直接测量大尺寸专用量块获得了满意的结果。二、测量仪器和被测件的安装利用HP5528A双频激光干涉仪作为基准仪器进行测量,用可调万能工作台装夹和调整量块,使被测量块中心长度值为最小。由于测量机在测量时探针具有可以不离开工件的特点,所以用探针定位。

激光数显平面干涉仪研制成功

中国兵器工业集团公司所属云南云光发展有限公司成功研制出一款激光数显平面干涉仪。该激光数显平面干涉仪主要应用于光学零件平面性精度的测量．精度可达到0．1道光圈．属于非接触式测量仪器。该干涉仪还可测量光学平板的微小楔角．

LM系列激光干涉测头

天津天大智泰科技有限公司生产的LM系列激光干涉测头，属予精密测长仪器，是可在0-20mm或0-50mm范围内实现纳米级精度接触式长度测量的干涉仪。