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新原理超精密研磨技术 被引量:1
1
作者 刘福君 庞滔 董申 《机械制造》 北大核心 1990年第11期25-26,共2页
最新的技术发展已对精密零件提出了新的要求。在电子工业、激光等领域需要不断提高零件尺寸和形状精度以及晶体结晶的完整性。对于集成电路基板的硅片,要达到1~2nm的粗糙度和无损伤表面,这就要进行原子级的研磨抛光。国外一些学者对于... 最新的技术发展已对精密零件提出了新的要求。在电子工业、激光等领域需要不断提高零件尺寸和形状精度以及晶体结晶的完整性。对于集成电路基板的硅片,要达到1~2nm的粗糙度和无损伤表面,这就要进行原子级的研磨抛光。国外一些学者对于这种微小量破坏的可能性进行了探讨,提出了几种用新的原理进行超精密研磨的方法,简单介绍给作者。 展开更多
关键词 研磨 接触研磨 机械化学研磨
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GCr15长方形工件的纳米级表面超精密研磨技术研究 被引量:1
2
作者 池宪 郑会龙 杨志甫 《机械工程与自动化》 2008年第4期84-87,共4页
针对材质为GCr15轴承钢的长方形工件纳米级超光滑表面的技术要求,在CJY500超精密研磨机上,采用机械研磨和化学抛光相结合的非接触式超精密研磨(浮动研抛)方法,对长方形GCr15轴承钢工件进行超精密研磨抛光。结果表明:与其它研磨方法相比... 针对材质为GCr15轴承钢的长方形工件纳米级超光滑表面的技术要求,在CJY500超精密研磨机上,采用机械研磨和化学抛光相结合的非接触式超精密研磨(浮动研抛)方法,对长方形GCr15轴承钢工件进行超精密研磨抛光。结果表明:与其它研磨方法相比,此方法在获得纳米级表面粗糙度的同时,还能获得极高的面形精度,而且无加工变质层。 展开更多
关键词 GCr15长方形结构 接触式超精密研磨 纳米级表面
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准双曲面齿轮V/H/J研齿调整算法及实施方案 被引量:2
3
作者 闫花茹 王伟 张华 《制造业自动化》 北大核心 2013年第14期34-36,共3页
研齿作为一种齿轮切齿后的精加工工序,可以显著降低振动和噪声,微量地改善齿面接触状况,鉴于传统研齿机的低效低精度,本文基于准双曲面齿轮局部共轭的啮合理论,利用几何坐标变换关系,建立了准双曲面齿轮V/H/J研齿调整算法,设计了齿面均... 研齿作为一种齿轮切齿后的精加工工序,可以显著降低振动和噪声,微量地改善齿面接触状况,鉴于传统研齿机的低效低精度,本文基于准双曲面齿轮局部共轭的啮合理论,利用几何坐标变换关系,建立了准双曲面齿轮V/H/J研齿调整算法,设计了齿面均匀研磨和不良接触区重点研磨方案,并用实验验证了该研齿算法的正确性及研齿方案的可行性,为齿面研磨点运动轨迹的准确控制和高精度研齿机数控化发展奠定了基础。 展开更多
关键词 准双曲面锥齿轮 研齿调整算法 均匀研磨 不良接触研磨 V H J
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电解抛光的种类和应用 被引量:1
4
作者 许龙昌 方文正 《新技术新工艺》 北大核心 1990年第6期22-24,共3页
文章叙述了电解接触研磨、电解复合镜面抛光、液体电解研磨抛光、电解超声复会抛光、电解刷抛光等种种工艺方法,还例举了实用工艺装置,以期望推广应用。
关键词 电解 抛光 种类 应用 接触研磨
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垫铁在运转设备安装施工中常见问题的探讨 被引量:1
5
作者 曹云祥 《安装》 2011年第7期33-34,共2页
本文就垫铁在设备安装工程中的起到作用、安装要求,对设备垫铁的安装技术进行分析讨论,供安装行业的同行参考。
关键词 垫铁 垫铁设置 接触研磨
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