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蚀刻与淀积的新概念反应室压力控制
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作者 Jean-Pierre Desbiolles 《中国集成电路》 2003年第51期83-87,共5页
本文叙述了一种采用小型干式泵的变速真空系统,可以取代传统的用于铝蚀刻和LPCVD氮化物淀积时的反应室压力控制,它更具大生产的价值。应用到单片晶圆(single-wafer)金属蚀刻设备时,它取消了靠近反应室的节流阀,从而减少了一个污染源,同... 本文叙述了一种采用小型干式泵的变速真空系统,可以取代传统的用于铝蚀刻和LPCVD氮化物淀积时的反应室压力控制,它更具大生产的价值。应用到单片晶圆(single-wafer)金属蚀刻设备时,它取消了靠近反应室的节流阀,从而减少了一个污染源,同时也减少了停工维修的时间。同样,应用到LPCVD氮化物淀积炉时,这种新设备不需要上游气压控制(upstreampressurecontrol)和氮气镇流(ni-trogenballasting),这样就大大减少了颗粒物的出现。 展开更多
关键词 蚀刻 淀积 反应压力控制 半导体晶圆加工 LPCVD氮化物淀积炉 气压控制 氮气镇流
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连续重整装置氢增压机防喘振及压力控制系统的改进 被引量:3
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作者 宋春 许可 《石油和化工设备》 CAS 2020年第9期52-55,共4页
连续重整装置反应系统压力三分程控制,是重整装置的核心技术之一,该系统的稳定高效运行直接影响装置的平稳率、能耗等指标。为达到提升重整反应系统控制平稳的目标,云南石化在连续重整装置开工阶段,通过对重整三分程系统控制方案进行优... 连续重整装置反应系统压力三分程控制,是重整装置的核心技术之一,该系统的稳定高效运行直接影响装置的平稳率、能耗等指标。为达到提升重整反应系统控制平稳的目标,云南石化在连续重整装置开工阶段,通过对重整三分程系统控制方案进行优化,成功实现重整反应系统压力波动范围控制在0.003MPa范围内,在此期间,总结积累了一系列该系统的应用经验及改进措施。 展开更多
关键词 连续重整装置 重整三分程 重整反应压力控制
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多区循环反应器的复杂控制与应用 被引量:1
3
作者 夏长松 《化工自动化及仪表》 CAS 2015年第2期206-208 212,212,共4页
多区循环反应器是Spherizone聚丙烯工艺的核心,反应器的精确控制和平稳运行是装置长周期运行的保证。根据Spherizone工艺在某30万t聚丙烯装置中的实际应用情况,给出了多区循环反应器关键的复杂控制——反应器压力控制和汽提塔流量前馈... 多区循环反应器是Spherizone聚丙烯工艺的核心,反应器的精确控制和平稳运行是装置长周期运行的保证。根据Spherizone工艺在某30万t聚丙烯装置中的实际应用情况,给出了多区循环反应器关键的复杂控制——反应器压力控制和汽提塔流量前馈串级控制方案及其在DCS中的实现方法。 展开更多
关键词 反应压力控制 汽提塔流量前馈串级控制 DCS 聚丙烯工艺 多区循环反应
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心理调节靠自己
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作者 袁浩龙 《家庭医学(上半月)》 1998年第13期30-30,共1页
生活中,当你面临心理压力时,是以疯狂的工作或玩乐麻痹自已,还是沉浸在悲伤中不能自拔,或是平静地处理好问题然后置之脑后?前两种情形是大多数人较容易出现的反应,面对第三种则是心有余而力不足。其实,冷静地处理心理压力也不是难事,以... 生活中,当你面临心理压力时,是以疯狂的工作或玩乐麻痹自已,还是沉浸在悲伤中不能自拔,或是平静地处理好问题然后置之脑后?前两种情形是大多数人较容易出现的反应,面对第三种则是心有余而力不足。其实,冷静地处理心理压力也不是难事,以下介绍几种能有效减轻生活压力的自我心理调节法。 展开更多
关键词 心理调节 心理压力 心理紧张 控制压力反应 生活压力 调节法 心理失控 食欲过盛 思考习惯 消极情绪
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Application of adaptive fuzzy control technology to pressure control of a pressurizer 被引量:1
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作者 YANGBen-kun BIANXin-qian GUOWei-lai 《Journal of Marine Science and Application》 2005年第1期39-43,共5页
A pressurizer is one of important equipment in a pressurized water reactor plant. It is used to maintain the pressure of primary coolant within allowed range because the sharp change of coolant pressure affects the se... A pressurizer is one of important equipment in a pressurized water reactor plant. It is used to maintain the pressure of primary coolant within allowed range because the sharp change of coolant pressure affects the security of reactor, therefor, the study of pressurizer’s pressure control methods is very important. In this paper, an adaptive fuzzy controller is presented for pressure control of a presurizer in a nuclear power plant. The controller can on-line tune fuzzy control rules and parameters by self-learning in the actual control process, which possesses the way of thinking like human to make a decision. The simulation results for a pressurized water reactor plant show that the adaptive fuzzy controller has optimum and intelligent characteristics, which prove the controller is effective. 展开更多
关键词 fuzzy control PRESSURIZER pressure control SIMULATION
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Energy Efficiency of Reactive Dynamic Compensators
6
作者 Rodrigo Nobis da Costa Lima Sergio Ferreira de Paula Silva +1 位作者 Antonio Carlos Delaiba Ezequiel Junio deLima 《Journal of Energy and Power Engineering》 2016年第3期191-198,共8页
A parameter that allows an evaluation of power quality transmitted, or distributed, between energy source and the final user is electric system power factor. Among other aspects, a bigger power factor, close to unit v... A parameter that allows an evaluation of power quality transmitted, or distributed, between energy source and the final user is electric system power factor. Among other aspects, a bigger power factor, close to unit value, relieves operational conditions of lines and cables, besides, it improves feeder's voltage behavior. Due to load variation along the day, the dynamic compensation of power factor allows maintaining this parameter close to the ideal. This paper brings a study about a reactive dynamic compensator based on the voltage control in a capacitive element, varying the reactive energy in accordance with the system demand, everything from the energy efficiency point of view. In distribution systems, the losses due to this variable compensation can be lower than in other compensation methods and also the voltage presents a better behavior, justifying its application. 展开更多
关键词 Reactive dynamic compensator power factor correction LOSSES energy efficiency tap changing.
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学会自我心理调节 被引量:1
7
作者 孟怀东 《心理与健康》 2002年第6期29-29,共1页
在日常生活中,当你面临心理压力,是以疯狂的工作或玩乐麻痹自己,或是沉浸在悲伤中不能自拔,还是平静地处理好问题然后置之脑后?前两种情形是大多数人较容易出现的反应,而对第三种则是心有余而力不足。其实,冷静地处理心理压力也不是难事... 在日常生活中,当你面临心理压力,是以疯狂的工作或玩乐麻痹自己,或是沉浸在悲伤中不能自拔,还是平静地处理好问题然后置之脑后?前两种情形是大多数人较容易出现的反应,而对第三种则是心有余而力不足。其实,冷静地处理心理压力也不是难事,那些在危机面前不惊不诧,保持冷静的人并非天生就有这份能耐,他们也都是在生活中逐渐学会的,以下介绍几种能有效减轻生活压力的自我心理调节法。 展开更多
关键词 心理卫生 控制压力反应 内心平衡 自我心理调节
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