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掩埋异质结构DFB激光器的液相外延生长
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作者 Toshihiro Kusunoki 张瑞华 《半导体情报》 1989年第4期34-41,共8页
采用液相外延方法制作了平坦表面掩埋异质结构分布反馈激光器二极管。要改进激光器的特性,需要解决三方面的困难。第一个困难是在波纹上面的InGaAsP光波导层内形成许多小坑。另外两个困难是波纹的热变形以及沿台面边缘流动的漏泄电流。... 采用液相外延方法制作了平坦表面掩埋异质结构分布反馈激光器二极管。要改进激光器的特性,需要解决三方面的困难。第一个困难是在波纹上面的InGaAsP光波导层内形成许多小坑。另外两个困难是波纹的热变形以及沿台面边缘流动的漏泄电流。采用氧等离子体工艺清洁波纹表面解决了第一个困难。采用表面粗糙的GaAs平板片覆盖住波纹,减少了波纹的热变形。用一种新型腐蚀剂腐蚀台面,减小了漏泄电流。 展开更多
关键词 掩埋异质结构 液相外延生长 DFB激光器
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基于渐变组分体材料InGaAs的宽带长波长超辐射二极管(英文)
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作者 丁颖 王圩 +2 位作者 阚强 王宝军 周帆 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期2309-2314,共6页
研制了一种新型的非选择性再生长掩埋异质结构长波长超辐射二极管(SLD).该器件采用渐变组分体材料InGaAs作为有源区,由金属有机物化学气相外延制备.150mA下,SLD发射谱宽的半高全宽为72nm,覆盖范围从1602到1674nm.发射谱光滑、平坦,光谱... 研制了一种新型的非选择性再生长掩埋异质结构长波长超辐射二极管(SLD).该器件采用渐变组分体材料InGaAs作为有源区,由金属有机物化学气相外延制备.150mA下,SLD发射谱宽的半高全宽为72nm,覆盖范围从1602到1674nm.发射谱光滑、平坦,光谱波纹在1550到1700nm的范围内小于0.3dB.室温连续工作,注入电流200mA下,器件获得了4.3mW的出光功率.器件适用于气体探测器和Lband光纤通信的光源. 展开更多
关键词 宽带 超辐射二极管 渐变组分 掩埋异质结构
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Experimental demonstration of the three-phase-shifted DFB semiconductor laser with buried heterostructure using common holographic exposure 被引量:4
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作者 LU LinLin CAO BaoLi +5 位作者 ZHANG LiBo TANG Song LI LianYan LI SiMin SHI YueChun CHEN XiangFei 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第11期2231-2235,共5页
In this article,we report the first experimental demonstration of the three-phase-shifted(3PS)DFB semiconductor laser with buried heterostructure based on the Reconstruction-Equivalent-Chirp(REC)technique.The simulati... In this article,we report the first experimental demonstration of the three-phase-shifted(3PS)DFB semiconductor laser with buried heterostructure based on the Reconstruction-Equivalent-Chirp(REC)technique.The simulation results show that the performances of the equivalent 3PS DFB semiconductor laser are nearly the same as those of the true 3PS laser.Compared with the quarter-wave-phase shift(QWS)DFB semiconductor laser,the 3PS DFB semiconductor laser shows better single-longitude-mode(SLM)property even at high injection current with high temperature.However,it only changes theμm-level sampling structures but the seed grating is uniform using the REC technique.Therefore,its fabrication cost is low. 展开更多
关键词 半导体激光器 掩埋异质结构 DFB 相移 示范 实验 曝光 全息
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