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掩埋结构激光器的生长研究 被引量:1
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作者 杨国文 肖建伟 +3 位作者 徐遵图 徐俊英 张敬明 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第11期670-675,T001,共7页
本文对GaAs/GaAlAs系掩埋结构的外延生长工艺进行了十分细致的研究,并就生长特性和生长形貌等作了较全面的分析。将此外延生长技术运用于体材料结构或量子阱结构的一次外延片,均获得了具有极低阈值,性能优越的半导体激光器件。
关键词 半导体激光器 掩埋结构 异质结
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掩埋异质结构DFB激光器的液相外延生长
2
作者 Toshihiro Kusunoki 张瑞华 《半导体情报》 1989年第4期34-41,共8页
采用液相外延方法制作了平坦表面掩埋异质结构分布反馈激光器二极管。要改进激光器的特性,需要解决三方面的困难。第一个困难是在波纹上面的InGaAsP光波导层内形成许多小坑。另外两个困难是波纹的热变形以及沿台面边缘流动的漏泄电流。... 采用液相外延方法制作了平坦表面掩埋异质结构分布反馈激光器二极管。要改进激光器的特性,需要解决三方面的困难。第一个困难是在波纹上面的InGaAsP光波导层内形成许多小坑。另外两个困难是波纹的热变形以及沿台面边缘流动的漏泄电流。采用氧等离子体工艺清洁波纹表面解决了第一个困难。采用表面粗糙的GaAs平板片覆盖住波纹,减少了波纹的热变形。用一种新型腐蚀剂腐蚀台面,减小了漏泄电流。 展开更多
关键词 掩埋异质结构 液相外延生长 DFB激光器
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硅-硅直接键合制造静电感应器件 被引量:5
3
作者 陈新安 刘肃 黄庆安 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 2004年第2期92-94,共3页
静电感应器件(StaticInductionDevice,SID)栅源击穿电压VGK不高一直是该类器件研制中存在的一个问题。用SI/SI键合技术代替高阻厚外延工艺,制造出一种不同于外延掩埋栅结构的掩埋栅结构——键合掩埋栅结构,从制造工艺和器件结构上提高了... 静电感应器件(StaticInductionDevice,SID)栅源击穿电压VGK不高一直是该类器件研制中存在的一个问题。用SI/SI键合技术代替高阻厚外延工艺,制造出一种不同于外延掩埋栅结构的掩埋栅结构——键合掩埋栅结构,从制造工艺和器件结构上提高了VGK。通过SITH器件的研制,证明了键合掩埋栅结构能够提高VGK和整个器件的电学性能。 展开更多
关键词 电力半导体器件/静电感应器件 硅-硅直接键合 掩埋结构
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高功率14xxnm半导体激光器
4
作者 李璟 马骁宇 《红外》 CAS 2006年第10期11-16,34,共7页
高功率14xxnm半导体激光器是光纤Raman放大器的理想泵浦源,它能够提供大功率、宽带输出,而且其动态可调谐,频率稳定性好,成本低。本文详细介绍了高功率14xxnm半导体激光器的材料生长、器件结构和封装工艺,总结了AlGaInAs材料生长的难点... 高功率14xxnm半导体激光器是光纤Raman放大器的理想泵浦源,它能够提供大功率、宽带输出,而且其动态可调谐,频率稳定性好,成本低。本文详细介绍了高功率14xxnm半导体激光器的材料生长、器件结构和封装工艺,总结了AlGaInAs材料生长的难点和结构方面的改进措施,指出了带有锥形增益区的脊形波导结构是获取高功率、良好远场单模特性的有效途径。本文还报导了国内外高功率14xxnm半导体激光器的最新产品性能和研发状况,指出了国内进一步研制高功率14xxnm激光器的研究难点和重点。 展开更多
关键词 高功率14xxnm半导体激光器 掩埋结构 脊形波导 锥形增益
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A Broadband Long-Wavelength Superluminescent Diode Based on Graded Composition Bulk InGaAs
5
作者 丁颖 王圩 +2 位作者 阚强 王宝军 周帆 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期2309-2314,共6页
A novel unselective regrowth buried heterostructure long-wavelength superluminescent diode (SLD) with a graded composition bulk InGaAs active region is developed by metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE). At a 1... A novel unselective regrowth buried heterostructure long-wavelength superluminescent diode (SLD) with a graded composition bulk InGaAs active region is developed by metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE). At a 150mA injection current, the full width at half maximum of the emission spectrum of the SLD is about 72nm, ranging from 1602 to 1674nm. The emission spectrum is smooth and flat. The ripple of the spectrum is less than 0.3dB at any wavelength from 1550 to 1700nm. An output power of 4.3mW is obtained at a 200mA injection current under continuous-wave operation at room temperature. This device is suitable for the applications of light sources for gas detectors and L-band optical fiber communications. 展开更多
关键词 BROADBAND superluminescent diodes graded composition buried hetero-structure
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Experimental demonstration of the three-phase-shifted DFB semiconductor laser with buried heterostructure using common holographic exposure 被引量:4
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作者 LU LinLin CAO BaoLi +5 位作者 ZHANG LiBo TANG Song LI LianYan LI SiMin SHI YueChun CHEN XiangFei 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第11期2231-2235,共5页
In this article, we report the first experimental demonstration of the three-phase-shifted (3PS) DFB semiconductor laser with buried heterostructure based on the Reconstruction-Equivalent-Chirp (REC) technique. Th... In this article, we report the first experimental demonstration of the three-phase-shifted (3PS) DFB semiconductor laser with buried heterostructure based on the Reconstruction-Equivalent-Chirp (REC) technique. The simulation results show that the performances of the equivalent 3PS DFB semiconductor laser are nearly the same as those of the true 3PS laser. Compared with the quarter-wave-phase shift (QWS) DFB semiconductor laser, the 3PS DFB semiconductor laser shows better single-longitude-mode (SLM) property even at high injection current with high temperature. However, it only changes the ~un-level sampling structures but the seed grating is uniform using the REC tech- nique. Therefore, its fabrication cost is low. 展开更多
关键词 three-phase-shifted structure DFB semiconductor laser Reconstruction-Equivalent-Chirp (REC) technique
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