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电磁型微电机定子绕组的研制 被引量:7
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作者 赵小林 宋柏泉 周狄 《微细加工技术》 1995年第3期44-48,共5页
本文主要阐述应用微细力。工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺,重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线围绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线... 本文主要阐述应用微细力。工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺,重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线围绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为3μm,微电机直径为2mm,最大工作电流120mA,电阻值在24-26Ω之间。输出力矩为1.5μNm,转子转速每分钟可达500转。 展开更多
关键词 电磁型 微电机 定子绕组 掩摸电镀
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