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掩膜微加工激光扫描单片机控制系统
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作者 徐国成 郑毅 +1 位作者 李世权 徐德生 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期71-72,共2页
文章介绍了以单片和两台步进电机组成的脉冲固体激光掩膜微加工扫描控制系统;包括系统的硬件设计和软件设计。根据掩膜加工的控制要求和80C196KC的特点,并结合程序流程图,对系统软件设计给出了详细说明。
关键词 激光掩膜微加工 扫描控制 单片机 步进电机
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Nd:KGW激光掩膜微加工设备
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《科技开发动态》 2004年第12期24-24,共1页
该设备是以Nd:KGW激光器为光源的掩膜微加工技术设备,为国际创新。它可广泛用于微电子器件、介入医疗器械、微机械、微标识、特殊异型孔加工、金刚石等超硬材料加工等高新技术领域。
关键词 Nd:KGW激光器 掩膜微加工 加工设备 电子器件 医疗器械
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