掩膜立体成型中平行光边缘衍射问题分析

利用Matlab对菲涅尔平行光直边衍射问题作了定量的分析,计算了幕上直边挡板边缘处的相对光强及衍射光能到达阴影处的极限坐标;详细分析了屏上的相对光强分布以及光强的走势及复色光的边缘衍射问题;利用Matlab对菲涅尔积分的处理推广了科纽卷线的应用,而对复色光边缘衍射问题的研究则实现了衍射光在边缘处的光强的大致平均分布。