通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena program)程序模拟了工业8in单晶硅提拉法生长过程,数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min,...通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena program)程序模拟了工业8in单晶硅提拉法生长过程,数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min,尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量.展开更多
文摘通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena program)程序模拟了工业8in单晶硅提拉法生长过程,数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min,尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量.