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PID神经元网络在单晶硅提拉速度控制系统中的应用研究
1
作者
史军
任丽静
+1 位作者
王宗刚
万健如
《石河子大学学报(自然科学版)》
CAS
2008年第2期245-248,共4页
在单晶硅晶体生长中,提拉速度的控制直接影响单晶硅的质量,如何提高速度控制系统的动态响应速度和抗干扰性能,对提高晶体生长质量具有重要意义。本文通过分析晶体结晶过程的热量运输,得出了单晶硅提拉过程中影响其质量问题的主要因素,...
在单晶硅晶体生长中,提拉速度的控制直接影响单晶硅的质量,如何提高速度控制系统的动态响应速度和抗干扰性能,对提高晶体生长质量具有重要意义。本文通过分析晶体结晶过程的热量运输,得出了单晶硅提拉过程中影响其质量问题的主要因素,提出了将PID神经元网络应用于单晶硅提拉速度控制系统中的方法,形成PID神经元网络提拉系统,建立了基于MATLAB/SIMULINK下的PID神经元网络控制系统模型,通过仿真结果表明,该系统对改善单晶硅的质量具有一定的实际意义。
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关键词
单晶硅
提拉速度控制
PID神经元网络
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职称材料
题名
PID神经元网络在单晶硅提拉速度控制系统中的应用研究
1
作者
史军
任丽静
王宗刚
万健如
机构
河西学院机电工程系
河北化工医药职业技术学院机电工程系
天津大学电气与自动化工程学院
出处
《石河子大学学报(自然科学版)》
CAS
2008年第2期245-248,共4页
文摘
在单晶硅晶体生长中,提拉速度的控制直接影响单晶硅的质量,如何提高速度控制系统的动态响应速度和抗干扰性能,对提高晶体生长质量具有重要意义。本文通过分析晶体结晶过程的热量运输,得出了单晶硅提拉过程中影响其质量问题的主要因素,提出了将PID神经元网络应用于单晶硅提拉速度控制系统中的方法,形成PID神经元网络提拉系统,建立了基于MATLAB/SIMULINK下的PID神经元网络控制系统模型,通过仿真结果表明,该系统对改善单晶硅的质量具有一定的实际意义。
关键词
单晶硅
提拉速度控制
PID神经元网络
Keywords
silicon
Czochralski silicon speed control
PID neural network
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
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操作
1
PID神经元网络在单晶硅提拉速度控制系统中的应用研究
史军
任丽静
王宗刚
万健如
《石河子大学学报(自然科学版)》
CAS
2008
0
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