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田径跳跃运动员支撑运动器官运动损伤的调查与分析 被引量:18
1
作者 王欢 《西安体育学院学报》 北大核心 2002年第3期61-62,86,共3页
采用临床调查分析和数理统计等方法 ,发现跳跃运动员支撑器官的损伤主要以膝关节、腰部、足部为主 ;运动损伤的类型主要有肌肉软组织和关节损伤两大类 ;运动损伤的原因主要包括技术动作不合理、训练和比赛安排不合理、场地器材不合格、... 采用临床调查分析和数理统计等方法 ,发现跳跃运动员支撑器官的损伤主要以膝关节、腰部、足部为主 ;运动损伤的类型主要有肌肉软组织和关节损伤两大类 ;运动损伤的原因主要包括技术动作不合理、训练和比赛安排不合理、场地器材不合格、准备活动不充分等。 展开更多
关键词 田径 跳跃运动 支撑运动器官 运动损伤 调查
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光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析 被引量:19
2
作者 倪明阳 巩岩 《中国光学》 EI CAS 2012年第5期476-484,共9页
为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何利用该支撑结构消除温度变化和外界应变对光学元件面形的影响。首先,计算单个支座的径向柔度,并与有限元... 为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何利用该支撑结构消除温度变化和外界应变对光学元件面形的影响。首先,计算单个支座的径向柔度,并与有限元分析结果进行比较。然后,分析在不同温度载荷和外界应变工况下光学元件上、下表面面形的变化,并与三点胶粘固定支撑方式下的结果进行了比较。计算结果表明:通过理论公式推导的支座径向柔度与仿真结果的误差绝对值小于2.2%;温度升高0.1℃时光学元件上下表面面形RMS值小于0.36 nm;平面度公差5μm时面形RMS值小于0.05 nm。与三点胶粘固定方式相比,运动学支撑方式能够有效消除温度变化和外界应变对光学元件表面面形的影响。 展开更多
关键词 光刻 投影物镜 运动支撑 柔度 面形
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反射镜架系统运动学支撑连接的有限元建模 被引量:5
3
作者 陈学前 杜强 +1 位作者 陈晓娟 徐有刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1835-1838,共4页
根据反射镜架系统中运动学支撑连接的物理接触形式,采用相应的位移协调方式来模拟其连接,建立了一个镜架结构的有限元模型,并分析了该镜架系统的模态及结构在地脉动载荷下的微振动分析。得到前三阶模态固有频率的最大误差小于5%,各测点... 根据反射镜架系统中运动学支撑连接的物理接触形式,采用相应的位移协调方式来模拟其连接,建立了一个镜架结构的有限元模型,并分析了该镜架系统的模态及结构在地脉动载荷下的微振动分析。得到前三阶模态固有频率的最大误差小于5%,各测点的位移响应均方根的计算值与试验值吻合较好,多数点位移均方根误差控制在30%以内,且各支撑连接部位的传递特性的计算结果与试验结果比较一致,验证了所采用的运动学支撑连接的建模方法的可行性。 展开更多
关键词 位移协调法 反射镜架系统 运动支撑连接 有限元建模 微振动
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基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 被引量:7
4
作者 于新峰 巩岩 +1 位作者 倪明阳 秦硕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期2000-2007,共8页
根据高精度投影光刻物镜的特点,提出了一种运动学支撑结构,并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变形以及重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。首先,介绍了运动学支撑结构的原理及镜面变形分析的方... 根据高精度投影光刻物镜的特点,提出了一种运动学支撑结构,并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变形以及重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。首先,介绍了运动学支撑结构的原理及镜面变形分析的方法。然后,应用Zernike多项式拟合实测和有限元分析得到的面形,并用两种方法对运动学支撑结构夹持力引起的透镜光学表面面形进行对比,以验证有限元分析模型的正确性。同时,分析了考虑重力情况下运动学支撑结构导致的透镜光学表面变形。最后,用实验的方法测量了运动学支撑结构在重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。实验和分析结果显示,由运动学支撑结构夹持力引起的透镜光学表面面形均方根(RMS)值的实测值为1.004nm,分析值为0.974nm,夹持力及重力综合作用下导致的透镜表面Fringe Zernike拟合面形RMS值为2.538nm,产生的主要像差为离焦、初级三叶像差和二级三叶像差,重复装配过程中引起的透镜光学表面面形的复现性标准差为0.645nm。得到的结果表明,所设计的运动学支撑结构能够保证透镜光学表面面形在重复装配过程中有良好的复现性。 展开更多
关键词 投影物镜 运动支撑结构 光学表面面形 夹持力 复现性 有限元法 ZERNIKE多项式
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跳远运动支撑期间下肢动作轨迹预测方法的研究
5
作者 向云平 《科学技术与工程》 北大核心 2017年第3期263-267,共5页
跳远运动支撑期间,下肢动作的准确性可使运动员最大程度避免受伤,且决定着运动员跳远成绩,因此需要对支撑期间下肢动作轨迹进行预测,以达到改善动作准确性的目的。传统方法预测动作轨迹时,一般采用光流估计法或变分方法;但这两种方法较... 跳远运动支撑期间,下肢动作的准确性可使运动员最大程度避免受伤,且决定着运动员跳远成绩,因此需要对支撑期间下肢动作轨迹进行预测,以达到改善动作准确性的目的。传统方法预测动作轨迹时,一般采用光流估计法或变分方法;但这两种方法较为繁琐,且预测误差较大。为此,提出一种新的跳远运动支撑期间下肢动作轨迹预测方法,将跳远运动简化成运动员骨架的运动,获取三维人体骨架模型,通过未标定的多幅跳远运动支撑期间下肢动作图像对摄像机内参数进行确定,完成摄像机的自标定。将跳远运动支撑期间下肢动作的左右膝关节、左踝关节点作为关键节点进行分析,求出首帧图像对应的三维运动骨架特征点的坐标;在此基础上,继续求出各后续帧中三维人体运动骨架特征点的坐标,从而实现跳远运动支撑期间下肢动作轨迹预测。实验结果表明,该方法具有很高的轨迹预测精度。 展开更多
关键词 跳远运动支撑 下肢动作 轨迹预测方法
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切向双脚架-运动学支撑结构的柔度研究 被引量:2
6
作者 安明鑫 薛闯 +2 位作者 张立浩 徐抒岩 董吉洪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第7期143-149,共7页
为了实现高精度的运动学支撑结构的设计,研究了切向双脚架-运动学支撑结构的柔度。介绍了切向双脚架-运动学支撑结构的设计原理。根据单边直圆柔性铰链的柔度公式,推导了双脚架在X、Y和Z轴方向的等效柔度Cx、Cy和Cz的解析式。采用有限... 为了实现高精度的运动学支撑结构的设计,研究了切向双脚架-运动学支撑结构的柔度。介绍了切向双脚架-运动学支撑结构的设计原理。根据单边直圆柔性铰链的柔度公式,推导了双脚架在X、Y和Z轴方向的等效柔度Cx、Cy和Cz的解析式。采用有限元分析和试验验证的方法,对双脚架的柔度解析式进行了分析验证。结果表明:解析式结果与有限元结果、试验结果基本一致,且误差均小于9.8%。研究了单边直圆柔性铰链的柔槽深度R和最小厚度t对双脚架柔度Cx、Cy和Cz的影响,得到了双脚架的等效柔度均与柔槽深度R成正比,与最小厚度t成反比的结论。为空间相机上的科学仪器的切向双脚架-运动学支撑结构的设计提供理论参考。 展开更多
关键词 柔度 运动支撑结构 双脚架 单边直圆柔性铰链 试验
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海上浮式风机在支撑平台运动影响下的气动特性研究 被引量:2
7
作者 刘格梁 胡志强 段斐 《海洋工程》 CSCD 北大核心 2017年第1期42-50,共9页
浮式风机的平台作为支撑系统,其六自由度刚体运动响应决定上层风机的运动状态,也影响叶轮的环境载荷。叶轮的运动使周围流场变得复杂,叶片承受着非定常的气动载荷。研究中考虑叶片结构的运动,将基于定常流场的叶素动量理论用于局部叶素... 浮式风机的平台作为支撑系统,其六自由度刚体运动响应决定上层风机的运动状态,也影响叶轮的环境载荷。叶轮的运动使周围流场变得复杂,叶片承受着非定常的气动载荷。研究中考虑叶片结构的运动,将基于定常流场的叶素动量理论用于局部叶素的气动分析,考虑偏航模型,充分模拟气流与叶轮的相互作用。在给定平台各个自由度运动下,计算叶轮气动参数,分析平台运动带来的影响,从入流速度方面探究引起气动载荷变化的本质原因。研究发现,叶轮气动性能和转动轴的方向有关,若平台运动改变转动轴方向,会引起气动载荷以多倍于叶轮旋转的频率发生周期变化,平台转动自由度的运动对叶轮气动性能影响显著。 展开更多
关键词 海上浮式风机 气动载荷 支撑平台运动 叶素动量法 非定常分析
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空间光学遥感器运动学支撑方案设计与分析 被引量:4
8
作者 李炳强 何欣 袁涛 《光学仪器》 2013年第1期54-59,共6页
设计了空间光学遥感器的运动学支撑方案,以解决遥感器的安装和精密定位。首先介绍了约束螺旋理论,主要包括螺旋的概念,修正的K-G公式及公共约束和冗余约束的物理意义。然后提出了3-RRR空间并联机构的运动支撑方案,采用约束螺旋求解法分... 设计了空间光学遥感器的运动学支撑方案,以解决遥感器的安装和精密定位。首先介绍了约束螺旋理论,主要包括螺旋的概念,修正的K-G公式及公共约束和冗余约束的物理意义。然后提出了3-RRR空间并联机构的运动支撑方案,采用约束螺旋求解法分析理想状态各支撑分支对工作平台的自由度约束问题,以及各分支运动链共同作用到工作平台后产生的公共约束和冗余约束,引入实际情况中的微米级铰间隙,分析其对自由度分配的影响,比较理想情况和实际含间隙情况下工作平台具备的过约束数目的差别。最后运用欧拉公式优化杆件结构,优化后支撑杆件采用空心矩形截面,在不影响运动副工作的同时缩短杆件长度,增强支撑结构的稳定性,完成空间遥感器运动学支撑方案设计。实验结果表明:遥感器沿各轴位移都在0.01mm数量级,绕x,y,z轴转角分别为3.95″,1.86″,1.81″,该方案满足了对空间光学遥感器的支撑和定位要求。 展开更多
关键词 遥感器 自由度 约束 螺旋理论 运动支撑
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空间光学遥感器大型分束棱镜支撑结构设计 被引量:1
9
作者 李宗轩 金光 +3 位作者 张雷 闫勇 解鹏 孔林 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第8期2096-2101,共6页
分束棱镜是大型空间遥感器分离光束的重要部件。为解决空间遥感器中大型分束棱镜的支撑问题,对尺寸为200mm×200mm×200mm的分束棱镜的支撑结构展开研究。提出基于半运动学支撑和被动温度补偿原理的立方分束棱镜支撑结构,建立... 分束棱镜是大型空间遥感器分离光束的重要部件。为解决空间遥感器中大型分束棱镜的支撑问题,对尺寸为200mm×200mm×200mm的分束棱镜的支撑结构展开研究。提出基于半运动学支撑和被动温度补偿原理的立方分束棱镜支撑结构,建立棱镜的接触约束,模拟边界条件的非线性,利用非线性有限元方法进行工程分析,最后分析验证。结果显示,在自重与±15℃稳态温度变化耦合作用下分束棱镜通光面面形误差PV值优于73.2nm,RMS值优于12nm;棱镜组件的一阶固有频率达到183Hz;表明该分束棱镜支撑结构方案设计合理,能够满足空间环境下对其结构刚度与热稳定性的要求。 展开更多
关键词 大型分束棱镜 运动支撑 温度补偿 接触 非线性分析
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极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析 被引量:5
10
作者 王辉 《中国光学与应用光学》 2010年第6期598-604,共7页
介绍了极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑原理和支撑要求,分析了符合运动学支撑要求的物镜支撑结构和面形检测用支撑结构;针对支撑结构性能和支撑方案中关键问题进行了深入研究,并提出了相应的解决方案。最后建立了支撑结构的有限元模型... 介绍了极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑原理和支撑要求,分析了符合运动学支撑要求的物镜支撑结构和面形检测用支撑结构;针对支撑结构性能和支撑方案中关键问题进行了深入研究,并提出了相应的解决方案。最后建立了支撑结构的有限元模型,并在此基础上进行了重力场中的镜体变形分析和温度场作用下系统的热变形分析。分析结果表明,检测用支撑与实际用支撑两种结构在重力环境下支撑出的元件面形基本相同,面形相差0.0026nm(RMS);温控范围为0.05℃时,由机械结构热变形引起的镜体面形变化在0.001nm(RMS)量级。研究结果表明,运动学物镜元件支撑结构能够满足极紫外光刻系统对于物镜机械支撑结构的要求。 展开更多
关键词 极紫外光刻 物镜 运动支撑 有限元分析
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针刺结合患侧下肢单腿支撑膝关节运动角度调整训练治疗中风后膝过伸 被引量:2
11
作者 王身芳 林宇煌 +1 位作者 王身林 刘道龙 《中医学报》 CAS 2023年第11期2467-2471,共5页
目的:观察针刺结合患侧下肢单腿支撑膝关节运动角度调整训练治疗中风后膝过伸患者的临床疗效。方法:100例中风后膝过伸患者按照随机数字表法平均分为对照组和观察组。对照组给予针刺方法,观察组在对照组治疗基础上给予患侧下肢单腿支撑... 目的:观察针刺结合患侧下肢单腿支撑膝关节运动角度调整训练治疗中风后膝过伸患者的临床疗效。方法:100例中风后膝过伸患者按照随机数字表法平均分为对照组和观察组。对照组给予针刺方法,观察组在对照组治疗基础上给予患侧下肢单腿支撑膝关节运动角度调整训练。两组均完成3个月的康复干预,比较两组患者屈肌、伸肌峰力矩(peak torque,PT),视觉模拟量表(visual analogue scale,VAS)评分,平衡功能,运动能力功能评分量表(motor function score scale,FMA)评分,膝过伸次数,依从性及满意度。结果:干预后,两组患者力矩、平衡功能评分显著升高,观察组高于同期对照组(P<0.05);两组患者VAS评分显著降低,且观察组低于同期对照组(P<0.05)。干预后,两组患者FMA评分均显著升高,观察组高于同期对照组(P<0.05);两组患者膝过伸次数显著较少,观察组少于同期对照组(P<0.05)。观察组康复锻炼、定期复查及日常指导依从性和康复效果、服务态度及专业技能满意度均高于对照组(P<0.05)。结论:针刺结合患侧下肢单腿支撑膝关节运动角度调整训练能显著提高患者屈肌和伸肌PT,减轻患者疼痛,改善患者平衡功能,提高患者运动能力,降低患者膝过伸次数。 展开更多
关键词 中风后膝过伸 针刺 患侧下肢单腿支撑膝关节运动角度调整训练
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地磁测量卫星光学平台结构热稳定性设计与校验
12
作者 张欢 刘志全 +2 位作者 于春宇 罗文波 袁丁 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1604-1612,共9页
针对地磁测量卫星光学平台(OB)结构与伸杆弯曲、扭转等整体热变形解耦难,星敏支架材料各向异性且可设计性差和多项精度指标下热稳定性设计与校验缺失的问题,开展了光学平台结构热稳定性设计,实现了中部臂杆整体热变形解耦。基于有限元方... 针对地磁测量卫星光学平台(OB)结构与伸杆弯曲、扭转等整体热变形解耦难,星敏支架材料各向异性且可设计性差和多项精度指标下热稳定性设计与校验缺失的问题,开展了光学平台结构热稳定性设计,实现了中部臂杆整体热变形解耦。基于有限元方法(FEM),选定综合性能最佳的材料组合,给出了材料匹配性规律。用热变形测试结果修正后的有限元模型分析校验了准运动学支撑的热变形解耦能力。开展了在轨全周期热变形分析,结果表明,光学平台星敏光轴间夹角峰-峰值最大为1.24″,星敏光轴与磁强计体轴间夹角峰-峰值最大为3.13″。在相似使用环境下,所设计的光学平台结构星敏光轴间夹角变化均方根值较SWARM卫星的对应值减小约82%,验证了光学平台结构热稳定性设计的有效性。 展开更多
关键词 光学平台结构 运动支撑 热稳定性 有限元分析 热变形分析
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Ф620mm口径地基反射镜组件优化设计 被引量:7
13
作者 兰斌 杨洪波 +2 位作者 吴小霞 王富国 郭鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第1期190-198,共9页
为了获得Ф620 mm口径地基反射镜组件的最优设计方案,建立了反射镜及其支撑系统的参数化模型,并基于该模型对镜体厚度、支撑点位置和柔性支撑结构的设计参数进行多目标优化设计。首先,阐述了Ф620 mm口径地基主反射镜支撑系统的运动学... 为了获得Ф620 mm口径地基反射镜组件的最优设计方案,建立了反射镜及其支撑系统的参数化模型,并基于该模型对镜体厚度、支撑点位置和柔性支撑结构的设计参数进行多目标优化设计。首先,阐述了Ф620 mm口径地基主反射镜支撑系统的运动学约束设计原理。然后,从理论角度推导出柔性支撑的柔度矩阵和结构热变形的等效力,建立了便于优化迭代的反射镜组件参数化模型,对比了参数化模型与体单元组成的详尽有限元模型在多种静力学工况下的RMS值和系统的前6阶模态值,计算结果误差在10%以内,验证了参数化模型的有效性。最后,基于径向基函数的近似模型理论,在Isight环境下对参数化模型进行多目标优化处理。得到了多目标优化的Pareto front前沿,目标值权衡处理后得到系统的最优的设计方案。提出的优化设计方法具有较好的工程适用性,可为同类型的反射镜组件优化设计提供参考。 展开更多
关键词 地基反射镜组件 运动支撑原理 柔性铰链 柔度矩阵 径向基函数 多目标优化设计
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大型空间相机主承力板检测结构设计及误差分析 被引量:2
14
作者 高超 陈芳 孙海洋 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第10期168-175,共8页
主承力板作为空间相机的核心承力部件,需要具备极高的尺寸精度和结构稳定性,常规的检测方法和装夹方式无法满足产品使用要求。根据某大口径相机主承力板的结构形式和指标要求,结合现有测量设备的容纳能力,选择了卧式放置的方式进行关键... 主承力板作为空间相机的核心承力部件,需要具备极高的尺寸精度和结构稳定性,常规的检测方法和装夹方式无法满足产品使用要求。根据某大口径相机主承力板的结构形式和指标要求,结合现有测量设备的容纳能力,选择了卧式放置的方式进行关键部位的平面度检测;引入准运动学支撑概念,主承力板使用3个逆Bipod支撑以避免装夹变形及装配变形,设计并制造了专用检测结构;以主承力板基准面PV值为评价指标,使用ABAQUS有限元软件和Matlab软件进行仿真计算,确定检测时的卸载力位置和大小。实验结果表明,使用检测结构得出的基准面平面度检测误差小于2μm,提升了三坐标设备的检测能力,有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 主承力板 运动支撑 逆Bipod 检测结构
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对体育高考生800m训练方法与手段的探讨
15
作者 韦永福 王金枝 《山西师大体育学院学报》 2006年第z2期95-97,共3页
运用文献资料法和对比分析法,对体育高考生800m训练方法和手段进行了探讨。结果表明,在体育高考生800m训练中加强支撑器官快速力量是预防胫腓骨疲劳性骨膜炎的基础,提高运动员抗乳酸能力是核心,加强运动员800m节奏感的培养是关键。
关键词 体育高考生 支撑运动器官 抗乳酸能力 节奏感
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散斑位移信息图象处理技术及应用 被引量:2
16
作者 王朝阳 戴静敏 《兵工自动化》 2002年第3期44-47,共4页
运动学支撑定位精度检测,采用激光散斑干涉法记录被测体特定平面的位移,以获得6自由度刚体位移分量。其图象处理技术是用细激光束对处理好的散斑图进行照射以获取图象(即杨氏条纹图),通过增强、滤波、提取条纹中心线等技术对获取的图象... 运动学支撑定位精度检测,采用激光散斑干涉法记录被测体特定平面的位移,以获得6自由度刚体位移分量。其图象处理技术是用细激光束对处理好的散斑图进行照射以获取图象(即杨氏条纹图),通过增强、滤波、提取条纹中心线等技术对获取的图象进行处理,提取出杨氏条纹图象在X、Y、Z三个方向的条纹间距,从而分析出被测物体特定平面内的位移信息,精度达到0.4μm。实验证明,该技术提高了运动学支撑定位检测精度。 展开更多
关键词 散斑位移信息 图象处理 运动支撑定位 精度检测 位移测量 光学工程 杨氏条纹 条纹中心线
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葡萄糖胺治疗犬骨关节病效果好
17
作者 李有业 《畜牧兽医科技信息》 2001年第9期19-19,共1页
犬常常发生骨关节病,特别是那些具有支撑运动器官病理遗传素质的良种犬。也有报道骨关节病是85%犬跛行的原因。为此,深化研究防治此病的药物至关重要。近年俄学者研究表明,软骨保护剂——盐酸葡萄糖胺具有广泛药理效应,特别是它的抗渗... 犬常常发生骨关节病,特别是那些具有支撑运动器官病理遗传素质的良种犬。也有报道骨关节病是85%犬跛行的原因。为此,深化研究防治此病的药物至关重要。近年俄学者研究表明,软骨保护剂——盐酸葡萄糖胺具有广泛药理效应,特别是它的抗渗出性能。本品用治犬骨关节病能减轻跛行,改善四肢功能性活动能力,但以尚未形成骨赘。 展开更多
关键词 骨关节病 葡萄糖胺 骨和骨组织 支撑运动 四肢功能 保护剂 酸葡萄 深化研究 良种犬 药理效应
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腰腿痛自我防治操
18
作者 魏慧(王强) 《健康大视野》 2002年第9期53-55,共3页
腰腿痛是一种常见多发病。有调查资料显示:约有高达20%的人犯过腰腿痛,常年坐办公室及繁忙的案头工作者,比一般人更易犯腰腿痛。腰部脊柱系独立的支柱,亦为脊柱运动较大的部位之一。它支持着人体60%以上的重量,又要从事伸屈、旋转等... 腰腿痛是一种常见多发病。有调查资料显示:约有高达20%的人犯过腰腿痛,常年坐办公室及繁忙的案头工作者,比一般人更易犯腰腿痛。腰部脊柱系独立的支柱,亦为脊柱运动较大的部位之一。它支持着人体60%以上的重量,又要从事伸屈、旋转等复杂运动。在人们生活、工作及运动过程中,腰部脊柱结构中的任何部位发生了异常,都可以引起腰腿痛。虽然,腰椎骨及腰部软组织损伤、病理性改变、腰椎结构异常、全身代谢与内分泌紊乱、长期体位不良、搬运重物姿势不当、身体虚弱、肌肉无力。 展开更多
关键词 腰腿痛 内分泌紊乱 调查资料 软组织损伤 人体 腰椎间盘突出症 腰部 支撑运动 复杂运动 常见多发病
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SUGCOO-150/6000承插式钢管内壁清洗机功能及结构设计研究 被引量:2
19
作者 刘松 《机械设计与制造工程》 2016年第5期54-58,共5页
承插式钢管在装配使用前需对其内壁进行清洗,为克服钢管过长、过重、清洗对象多、杂质成分复杂等不利因素,采用"工作台承载重物往复运动"、"清洗装置静止或旋转"的实用设计理念,应用手压井取水装置,对清洗机进行功... 承插式钢管在装配使用前需对其内壁进行清洗,为克服钢管过长、过重、清洗对象多、杂质成分复杂等不利因素,采用"工作台承载重物往复运动"、"清洗装置静止或旋转"的实用设计理念,应用手压井取水装置,对清洗机进行功能与结构研究,完成了对长管类内壁清洗机的开发与设计。 展开更多
关键词 成组重型管道 机械清洗 运动支撑 结构设计
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193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 被引量:7
20
作者 田伟 王平 +2 位作者 王汝冬 王立朋 隋永新 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期221-226,共6页
光刻是大规模集成电路制造过程中最为关键的工艺,光刻的分辨力主要取决于光刻投影物镜的光学性能。光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米量级,其对光学元件的加工及物镜单镜支撑提出了极高的要求。为193nm光刻投影物镜高精度的单镜面形,... 光刻是大规模集成电路制造过程中最为关键的工艺,光刻的分辨力主要取决于光刻投影物镜的光学性能。光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米量级,其对光学元件的加工及物镜单镜支撑提出了极高的要求。为193nm光刻投影物镜高精度的单镜面形,设计了一种运动学单镜支撑结构。运用有限元法(FEM)分析光刻投影物镜单镜运动学支撑结构在重力下物镜镜片的面形变化量,经分析物镜镜片的峰值(PV)值为15.46nm,均方根(RMS)误差为3.62nm。为了验证有限元计算精度,建立了可去除参考面面形及被测面原始面形的方法。经过分析对比,仿真结果与实验结果面形的PV值为2.356nm,RMS误差为0.357nm。研究结果表明,所设计的基于运动学193nm光刻投影物镜单镜支撑结构能够满足193nm光刻投影物镜系统对于物镜机械支撑结构的要求。 展开更多
关键词 应用光学 193nm光刻 运动支撑 光学检测 有限元法
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