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题名MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析
被引量:3
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作者
孔龄婕
贺婷
陈东红
燕乐
张鹏
丑修建
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机构
中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2015年第6期492-495,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目
编号:51275492
+5 种基金
中国博士后科学基金特别资助项目
编号:2013T60557
中国博士后科学基金面上资助项目
编号:2012T52118
江苏省博士后科研资助计划项目
编号:1201038C
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文摘
红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键,准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜,使红外光线收敛呈准直辐射;由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r=6.48 mm,透镜焦距f=7.2 mm,透镜厚度d'≤2 mm,用Zemax光学软件仿真优化,得出中间层厚度d=0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证,为定向辐射MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数,极大提高设计效率。
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关键词
MEMS红外光源
准直透镜
聚光封装
收敛辐射
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Keywords
MEMS infrared source, collimating encapsulation, light-gathering package, convergence of radiation
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分类号
TN212
[电子电信—物理电子学]
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