二维PSD非线性修正技术研究

本文在总结前人研究成果的基础上,提出适用于非均匀网格的二维PSD离散标定误差修正方法,即改进型双二次插值算法。该算法对双二次插值的系数函数做了修正来适应实际的非均匀网格。测试结果表明经补偿后在PSD中心1 mm范围内示值误差小于2μm。同时,该算法具有和MATLAB内置的双调和样条插值相同的补偿精度甚至更高,但是相对更简单。