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微区薄层电阻测试方法的研究
被引量:
2
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作者
刘新福
孙以材
《河北工业大学学报》
CAS
2003年第3期15-18,共4页
对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。
关键词
微区薄层电阻
改进范德堡法
四探针测试技术
Mapping技术
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职称材料
题名
微区薄层电阻测试方法的研究
被引量:
2
1
作者
刘新福
孙以材
机构
河北工业大学微电子技术与材料研究所
出处
《河北工业大学学报》
CAS
2003年第3期15-18,共4页
基金
国家自然科学基金(69272001)
河北省自然科学基金(602076)
天津市自然科学基金(013602011)
文摘
对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。
关键词
微区薄层电阻
改进范德堡法
四探针测试技术
Mapping技术
Keywords
sheet resistance for microareas
modified van derpauw method
four probe technique
mapping technique
分类号
TN304.07 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微区薄层电阻测试方法的研究
刘新福
孙以材
《河北工业大学学报》
CAS
2003
2
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