二代微通道板(MCP)放气成份质谱分析

模拟二代微光管制管工艺 ,对 MCP经不同工艺处理后的放气成份进行分析 ,发现工艺质量本身是造成 MCP污染的主要因素。经改进工艺 ,提高了制管成品率和管子性能。