JSM 6360型扫描电镜故障诊断与维护控制

利用JSM 6360型扫描电子显微镜配合能谱仪能较好地对材料进行微观结构与微区元素分析。介绍了JSM 6360型扫描电镜的基本控制要点、日常故障分析与处理措施及维护创新点,分析了对钨灯丝过早熔断、电镜x轴和y轴马达不旋转、z轴旋转卡簧易脱落、加热器损坏等常见故障进行快速处理的方法,结果可为同型号扫描电镜科研人员提供维修与维护方面的参考。