两阶段设备维护策略选择的灰靶决策模型

针对设备的最佳维护策略选择问题,首先提出6种设备运维目标,同时给出两阶段设备运维策略选择的加权智能灰靶决策模型的架构图以及建模算法流程;然后采用德尔菲调查法与层次分析法相结合确定不同目标的权重.结合某半导体面板制造企业的设备运行现场实际数据,对于成本型目标和适中型目标,分别采用相应的效果测度函数计算出设备在不同运行状态下的一致效果测度矩阵以及综合效果测度矩阵.通过运用两阶段设备维护的灰靶决策模型,最终得到设备不同状态下的最佳维护策略.所提出方法对正确选择半导体面板设备维护策略、提高设备运维效率、降低维护成本具有实际指导意义.