粗糙表面散射光强分布的特征参数研究

论述了能反映粗糙表面散射光分布特性的合适参数。根据光电子统计学理论,得出了工件粗糙表面反射光的散射光强分布,建立了评价反映粗糙表面散射光强分布特征的二阶中心矩SN与Rq关系的数学模型和相应的测试系统。通过CCD线阵接受散射光分布信号,由微机进行处理后所得实验结果与泰勒仪对同一粗糙表面的测量结果相吻合,证明所采用的评价粗糙度参数可靠。