基于光散射理论的玻璃晶圆表面缺陷检测方法研究

本文对玻璃晶圆加工过程中常见的三种缺陷类型——颗粒缺陷、气泡缺陷、三角形划痕的散射光强进行分析,发现不同缺陷结构在空间中有不同的散射光强分布特点,可以建立缺陷结构与散射光强空间分布的对应关系;同时针对产线中晶圆表面微米量级缺陷,进行了不同尺寸颗粒缺陷的散射光强度计算,得出了微米级别缺陷尺寸与散射光强度之间的关系曲线。从而提出一种非成像缺陷检测方法:检测获取缺陷散射光强值与空间分布,利用散射光空间分布结构确定缺陷结构以及利用散射光强计算缺陷尺寸,从而间接确定缺陷信息,达到缺陷检测的目的。为晶圆产业应用过程中的缺陷快速检测提供方法参考。

红细胞悬浮液多参数光谱测量方法研究

目的提出了一种基于散射光空间分布信号、无需积分球装置测量计算红细胞(RBC)悬浮液多参数光谱的新方法。方法利用光调制技术和独立光电传感器相结合采集血液样品空间分布光强信号,获得由漫反射率、漫透射率和准直透射率组成的特征信号测量值,并用其作为输入参数,通过基于蒙特卡洛(Monte Carlo)仿真模型和微扰算法的逆计算,获得被测样品吸收系数、散射系数和各向异性因子的光谱数据。结果用该法测量了粒径2.6μm聚苯乙烯微球悬浮液的多参数光谱,并与Mie理论计算结果进行了校验。在此基础上,进一步测量了7.1%浓度RBC悬浮液的多参数光谱,获得的光谱数据与文献中利用积分球结合蒙特卡洛结果基本一致。结论基于空间特征光信号测量并计算RBC悬浮液多参数光谱方法,将为深入研究非侵入性定量检测RBC和游离血红蛋白含量提供一种快速、准确的新途径。