一种基于DRAM的新型数字微镜器件设计

为了满足数字光处理系统(DLP)对其核心器件数字微镜器件(DMD)的高性能要求,文中提出了一种基于0.13μm CMOS工艺,采用DRAM存储的新型数字微镜器件。通过对DMD芯片结构、工作原理的分析提出一种新型数字微镜单元电路设计,对电路进行仿真验证并设计电路版图。经测试,该设计基本满足数字微镜器件开关时间、芯片良率、寿命等要求。