SiO2／聚合物Y分支波导型热光开关研究

为提高波分复用(WDM)光通信网中核心器件光开关的响应速度,设计并制备了SiO2/聚合物复合型Y分支结构波导热光开关。器件选择具有高热导率的SiO2作为波导的下包层,低成本的聚甲基丙烯酸甲脂-甲基丙烯酸环氧丙酯共聚物(P(MMA-GMA))作为芯层和上包层,利用束传播法模拟和优化Y分支波导的设计,通过光刻、刻蚀和蒸发等传统半导体工艺进行器件制备。实验测得开关插入损耗为12dB,消光比为18dB,方波驱动的上升和下降响应时间均为200μs。实验结果表明,SiO2/聚合物复合波导结构可有效提高热场的扩散速度和折射率调节效率,减小开关的响应时间。

Y分支有机聚合物热光开关的研制

利用有机聚合物材料热光效应进行了Y分支结构光波导开关的研究和制作 ,实验结果显示光开关具有小于 - 2 0dB的串音 ,驱动功率为 110mW～ 130mW。同时给出插入损耗的测试结果 ,并分析了其产生的各种原因。针对器件的开关速度问题 。