数字平面检测系统误差和精度评价方法的研究

通过对光学平面玻璃样品表面检测结果的分析 ,对激光数字平面检测系统中 ,应用泽尼克多项式进行平面分析的系统理论误差以及被测表面形状类型的判别方法进行了深入的研究 ,并应用误差分析理论 ,提出了一个在“泽尼克像差空间”确定激光数字平面检测系统精度的理论和方法。