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扫描电声显微镜图像质量的提高 被引量:2
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作者 杨阳 惠森兴 +2 位作者 张冰阳 姚烈 殷庆瑞 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第1期92-96,共5页
本文建立了数字电声像的采集装置。在扫描电声显微镜(SEAM:ScanningElectron-Acous-ticMicroscope)系统中采用了数字扫描发生器,代替了原来的模拟扫描发生器,从而实现由计算机控制电子束... 本文建立了数字电声像的采集装置。在扫描电声显微镜(SEAM:ScanningElectron-Acous-ticMicroscope)系统中采用了数字扫描发生器,代替了原来的模拟扫描发生器,从而实现由计算机控制电子束在试样上的扫描。通过数字图像处理,明显提高了电声像的信噪比,改善了电声像的质量。新系统还可以方便地对电声像进行优化、储存和打印处理。 展开更多
关键词 SEM SEAM 动态幅度控制 数字扫描发生器
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