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非球面数字波面检测技术 被引量:1
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作者 袁吕军 杨帆 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1118-1122,共5页
提出了一种快速检测浅度非球面(非球面度小于0.01mm)的方法,该方法无需补偿器或其他辅助光学元件进行零位补偿。用移相干涉仪直接测量正轴或离轴的浅度凹非球面,剔除平移、倾斜、失焦等调整误差后,得到实际被测镜面的面形分布数据;根据... 提出了一种快速检测浅度非球面(非球面度小于0.01mm)的方法,该方法无需补偿器或其他辅助光学元件进行零位补偿。用移相干涉仪直接测量正轴或离轴的浅度凹非球面,剔除平移、倾斜、失焦等调整误差后,得到实际被测镜面的面形分布数据;根据正轴或离轴的浅度凹非球面矢高方程计算理想非球面的面形分布数据,得到理论波面数据,用实测的面形分布数据减去理论的面形分布数据即可得到被检非球面的剩余波像差,即面形误差。利用该方法测量了一口径为135mm的双曲面,并用零位补偿法加以验证。两种方法的检测结果精度相当,说明数字波面法可实际应用于正轴或离轴的浅度凹非球面的检测。 展开更多
关键词 光学检测 非球面 数字波面 波像差
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数字波面干涉仪测量误差消除方法 被引量:1
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作者 杨朋利 《应用光学》 CAS CSCD 1992年第1期59-62,共4页
主要论述了数字波面干涉仪在测量过程中影响测量准确度的各种误差,并介绍了对于不同误差的消除方法。
关键词 干涉仪 误差 测量 数字波面
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数字波面扩束器
3
作者 王青 陈进榜 +1 位作者 朱日宏 陈磊 《应用光学》 CAS CSCD 1998年第2期43-47,共5页
介绍在移相式数字平面干涉仪的基础上建立的高精度数字波面扩速器技术,该技术可扩展干涉仪的测试孔径。文中介绍了数字波面扩束技术的原理,使用计算机模拟实际的测试过程,分析原理误差对波面复原精度的影响,此技术已用在250m... 介绍在移相式数字平面干涉仪的基础上建立的高精度数字波面扩速器技术,该技术可扩展干涉仪的测试孔径。文中介绍了数字波面扩束技术的原理,使用计算机模拟实际的测试过程,分析原理误差对波面复原精度的影响,此技术已用在250mm口径的移相式数字平面干涉仪上。 展开更多
关键词 子孔径 数字波面扩束器 干涉仪 计算机模拟 原理误差 波面复原精度
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用于天文非球面镜检测的计算全息数字波面干涉仪
4
作者 鄢静舟 雷凡 《光仪技术》 1999年第1期30-37,42,共9页
本文介绍了南京天文仪器研制中心正在开发研究中的计算全息数字波面干涉仪,这种干涉仪将计算全息技术、补偿镜干涉技术和数字波面干涉技术有机地结合在一起,能够实现用于天文望远镜光学系统中各晨球面镜的自动、实时的高精度检测。
关键词 天文非球面镜 计算全息 数字波面 干涉仪
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数字波面干涉仪的绝对校正问题 被引量:1
5
作者 幸芦笙 《五邑大学学报(自然科学版)》 CAS 1998年第2期57-59,共3页
数字波面干涉仪是高精度快速评价光学零件的有效工具,绝对校正是数字波面干涉仪研究中的一项重大技术,本文对数字面干涉仪的绝对校正问题作了一些探讨。
关键词 数字波面干涉仪 干涉仪 绝对校正 光学零件
全文增补中
LDI-2激光数字波面干涉仪
6
《光学仪器》 1997年第Z1期102-102,共1页
关键词 数字波面干涉仪 面形误差 数字移相 激光 干涉测量 仪器 曲率半径 凹球面镜 定量测量 不确定度
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光学干涉波面数字化处理方法与应用 被引量:7
7
作者 莫卫东 《计算物理》 CSCD 北大核心 2003年第6期514-520,共7页
 全面论述了激光数字平面检测系统中的核心技术———干涉波面数字化分析理论和处理方法,对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法以及系统像差和被测表面平面误差类型判定方法进行了深入研究,提出了在"Zernike像差空间"...  全面论述了激光数字平面检测系统中的核心技术———干涉波面数字化分析理论和处理方法,对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法以及系统像差和被测表面平面误差类型判定方法进行了深入研究,提出了在"Zernike像差空间"确定激光数字平面检测系统精度的理论和方法. 展开更多
关键词 数字化干涉波面 误差分析 Zemike多项式拟合 系统像差 拟合算法选择 图象处理 拟合系数
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Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造 被引量:1
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作者 王青 高志山 +4 位作者 李致新 张永宁 赵东升 胡中 何跃 《计测技术》 2011年第5期12-14,共3页
介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm(PV值),测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。
关键词 波面数字 移相干涉 液面基准 技术改造
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波面数字干涉仪检测技术及其在光刻镜头生产中应用
9
作者 苏学红 《电子工业专用设备》 1995年第4期28-31,共4页
移相式波面数字干涉仪是国际上八十年代出现的一种最先进的光学检测设备,它采用计算机图象处理技术对干涉图形进行实时动态采样处理,从而实现了光学面形的定量测量和形象化图形显示。本文介绍了我所用QGY—1型激光球面干涉仪改造... 移相式波面数字干涉仪是国际上八十年代出现的一种最先进的光学检测设备,它采用计算机图象处理技术对干涉图形进行实时动态采样处理,从而实现了光学面形的定量测量和形象化图形显示。本文介绍了我所用QGY—1型激光球面干涉仪改造成的移相式激光波面数字干涉仪,在光刻镜头生产中的应用。 展开更多
关键词 波面数字干涉仪 检测技术 应用 光刻 镜头
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激光数字平面检测系统的误差分析与应用
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作者 莫卫东 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 2003年第2期91-94,共4页
根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的... 根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的大小对精度的影响进行了研究。 展开更多
关键词 光学平面检测 数字化干涉波面 Zernike多项式拟合 误差分析
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激光数字光学平面玻璃表面检测系统技术研究
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作者 莫卫东 屈少波 冯明德 《光学与光电技术》 2010年第3期7-9,共3页
干涉波面数字化和测量分析处理方法是激光数字平面检测系统中的核心技术,只有掌握了此核心技术的关键内容,才能够真正实现对光学平面的快速高精度检测。对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法、系统像差以及被测表面平面误差类型... 干涉波面数字化和测量分析处理方法是激光数字平面检测系统中的核心技术,只有掌握了此核心技术的关键内容,才能够真正实现对光学平面的快速高精度检测。对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法、系统像差以及被测表面平面误差类型进行了理论分析和算法优化,并进行了实验测试,完成了系统的构建。发现了Zernike多项式阶选择法则,提出被测光学表面误差类型的判别标准以及一种全新的在"Zernike像差空间"确定激光数字光学平面检测系统精度的理论和方法,为实现检测自动化奠定了理论基础。 展开更多
关键词 相干光学 干涉波面数字 ZERNIKE多项式 光学玻璃表面检测
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光学薄膜参数测试
12
《中国光学》 CAS 2004年第4期68-68,共1页
采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张... 采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大。 展开更多
关键词 沉积速率 数字波面干涉仪 沉积温度 电子束蒸发 薄膜残余应力 薄膜微结构 应力状态 工艺参量 张应力 光学薄膜
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光学工艺
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《中国光学与应用光学》 2007年第2期93-95,共3页
关键词 自聚焦透镜 压印光刻 子孔径拼接检测 光刻图形 数字光刻 计算机控制光学表面成形 干法刻蚀 光刻系统 刻蚀形貌 激光直写 负性光刻胶 激光功率密度 磁流变抛光 数字波面干涉仪 曝光工艺 气囊抛光 微细加工 回转对称非球面 激光干涉仪 光学干涉仪 锥体棱镜
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On Verification of the New Criterion of Adiabaticity by Numerical Simulation of Acoustic Propagation through the Polar Front
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作者 WANG Y.Y SHANG E.C. 《Journal of Ocean University of Qingdao》 2002年第1期25-28,共4页
To assess the adiabaticity of acoustic propagation in the ocean is very important for acoustic field calculation(forward problem) and tomographic retrieving (inverse problem). A new criterion of adiabaticity is propos... To assess the adiabaticity of acoustic propagation in the ocean is very important for acoustic field calculation(forward problem) and tomographic retrieving (inverse problem). A new criterion of adiabaticity is proposed recently (Shang et al., 2001). In this paper, numerical simulation has been conducted for acoustic propagation through the Polar Front to verify the new criterion. Numerical results on the f (frequency) -m (mode number) plan demonstrate that the new criterion works very well for this extremely non-gradual ocean structure. 展开更多
关键词 Barents Polar Front acoustic propagation criterion of adiabaticity
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The numerical simulation on electromagnetic wave attenuation characteristics of coal face in time-frequency domain
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作者 于师建 程久龙 刘家琦 《Journal of Coal Science & Engineering(China)》 2007年第4期405-409,共5页
This paper took the abnormal geological objects with high or low resistivity in the coal face as the background to establish the physical model. 2D forward numerical simulation for electromagnetic wave equation was im... This paper took the abnormal geological objects with high or low resistivity in the coal face as the background to establish the physical model. 2D forward numerical simulation for electromagnetic wave equation was implemented by the finite-difference scheme. According to the simulative results, the attenuation-absorption coefficient were calculated respectively based on field intensity and frequency shift parameter. Research result indicates, when coal-bed contains high electric resistivity geological abnormal object or low electric resistivity geological abnormal object, absorption attenuation function researched by frequency shift parameter of electromagnetic wave signal is more sensitive than by electromagnetic field intensity parameter. 展开更多
关键词 coal face electromagnetic wave ATTENUATION frequency shift numerical simulation
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Application of Eliminating Zero-order Diffraction Light in Wavefront Reconstruction of Inverse Diffraction Computation
16
作者 LI Jun-chang PENG Zu-jie CHEN Jin-bo 《Optoelectronics Letters》 EI 2006年第5期379-382,共4页
According to the Collins’ formula and its inverse diffraction computation,this paper presents an algorithm for reconstructing the object wavefront of a numerical holograph.To improve the quality of wavefront reconstr... According to the Collins’ formula and its inverse diffraction computation,this paper presents an algorithm for reconstructing the object wavefront of a numerical holograph.To improve the quality of wavefront reconstruction,a technique of eliminating the zero-order diffraction light is introduced,which is achieved by subtraction of two intensities of the interference patterns.The computer simulation and image processing show that the method of eliminating the zero-order diffraction beam can be applied to the wavefront reconstruction of inverse diffraction computation. 展开更多
关键词 逆衍射 波阵面 图象重建 数字全息图 干扰模式
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S-wave Q structure of the crust and upper mantle beneath Yunnan from surface waves 被引量:4
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作者 CHEN Jia HU JiaFu +3 位作者 YANG HaiYan ZHANG XiaoMan WEN LiMin PENG HengChu 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS 2012年第5期858-868,共11页
A phase-matched filtering technique is applied to extract fundamental mode signals from Rayleigh waves recorded at 62 digital seismic stations in the Yunnan and Sichuan regions.We use the fundamental mode of vibration... A phase-matched filtering technique is applied to extract fundamental mode signals from Rayleigh waves recorded at 62 digital seismic stations in the Yunnan and Sichuan regions.We use the fundamental mode of vibrations at two stations that are located on the same great circle as the focus to calculate an inter-station attenuation coefficient of the Rayleigh wave with periods between 0.40 and 80.64 s,and invert for the inter-station S-wave Q-factor (Qβ) at depths of 0-200 km.The results indicate that Qβ in Yunnan is 20-140,presenting a low Qβ background with apparent lateral variation.Taking the Honghe Fault as the boundary,Qβ of the crust is only 20 on the west side,extending to a depth of 120 km.The distribution of Qβ is consistent with large-scale Cenozoic volcanic and intrusive rocks in western Yunnan,implying that the crust and mantle are in the thermally active state.In the eastern Yunnan Block,east of the Xiaojiang Fault,Qβ in the upper 120 km is 140 in the south but only 20 in the north.Additionally,around the Dukou-Chuxiong in the mid-Yunnan Block,Qβ in the lithosphere is relatively high at 60-100,corresponding to a stiff crust.This is because the suture between the Indian and Eurasian plates reversed the tension in the rifting stage into the compression of orogenesis,leading to the closure of a gap in the crust.After some time,interstitial fluids gradually disappeared,resulting in a high velocity layer in the crust and low heat flow on the surface.The Yunnan region consists of an obvious block of elevated Qβ,distributed within the low background,consistent with the distribution of heat-flow values on the surface.The Honghe and Xiaojiang faults are tectonic boundaries in addition to being boundaries between regions of high and low crustal Qβ.The low Qβ is probably the result of crustal rupture and disturbance caused by strong earthquakes and the upwelling of hot substances along the deep fault zones. 展开更多
关键词 Yunnan region attenuation of surface wave phase-matched filtering S-wave Q-factor
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