子区域拼接数字莫尔条纹非球面检测的理论分析

为解决利用莫尔条纹测量大口径、高陡度非球面或离轴非球面时受光栅面积、CCD相机分辨能力等因素限制的问题,提出了利用数字莫尔条纹(结合数字相移技术)进行子区域拼接的非球面检测方法。给出了这种方法的基本原理,并对其步骤的实现、数学模型的建立、拼接算法的开发进行了分析和研究。结果表明,子区域拼接数字莫尔条纹法可以作为补偿检验以外的另一种非球面检测方式。

数字莫尔条纹非球面检测技术的理论研究

介绍了非球面检测的数字莫尔条纹法,根据两光栅叠加理论给出了数字莫尔条纹的数学模型,并通过三步数字相移技术得到反映被测量非球面面形特征的相位分布,最后利用三步相移算法得到非球面的面形特征,从而达到检测非球面的目的.

移相数字莫尔条纹图像滤波方法的研究

数字莫尔条纹滤波处理是利用莫尔条纹进行非球面检测的关键技术之一,滤波结果直接影响非球面检测的精度,分别从空域和频域两个角度对滤波算法进行了讨论分析,并进行了模拟实验。结果表明,经两种方法处理后恢复的波面得到了较好的结果,全孔径相位分布残差的均方根(RMS)值分别为0.024λ和0.035λ,证明了滤波方法是可行的。

单光栅数字莫尔位移测量法(英文)

提出了一种使用单光栅测量位移的新方法,在该方法中,光栅信号经放大后由图像传感器阵列接收并被传送至计算机,然后通过与其镜像图像叠加的方式得到数字莫尔条纹,最后利用图像传感器像素的空间均匀性对莫尔条纹直接进行细分进而测得位移量。与传统的双光栅莫尔条纹位移测量法相比,该方法完全消除了光栅副层叠间隙,装调更为方便,而且细分成本更低。在阿贝比长仪上对由周期为20μm的光栅和2 048×1 536像素的CMOS图像传感器构成的分辨率为0.04μm的测量系统进行测试,结果表明其最大位移误差优于0.18μm。