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C^3I系统中的实用航迹数据处理
1
作者
盛安冬
戚国庆
+1 位作者
刘健
余五建
《计算机仿真》
CSCD
2002年第6期10-12,共3页
该文首先介绍了C3I系统的简要构成 ,接着基于实际工程要求 ,提出了融合和相关等航迹数据实时处理的方法 ,并给出了一个仿真算例。依据本方法编制的软件已应用于某C3I系统 ,并已通过靶场动态飞行试验。
关键词
C^3I系统
实用航迹
数据
处理
信息
融合
数据融合处理算法
下载PDF
职称材料
基于流量分比控制技术的多路配气系统的研究
被引量:
1
2
作者
韦杨杰
高先和
+3 位作者
杨冰洁
朱小漫
刘凯
汪海
《菏泽学院学报》
2023年第2期76-82,共7页
针对国内芯片制造业中对标准气体的需求,在传统的单路配气系统上,研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理,构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环...
针对国内芯片制造业中对标准气体的需求,在传统的单路配气系统上,研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理,构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环配气控制系统.同时通过不同量程的稀释气体的配置,对比了基于数据融合算法和均值滤波算法下的气体流量控制误差,分别为±0.3%和±0.8%.实验表明该系统稳定,误差范围在±0.3%,响应时间不超过30 s.
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关键词
气体流量控制
滞后补偿
数据融合处理算法
芯片制造
下载PDF
职称材料
题名
C^3I系统中的实用航迹数据处理
1
作者
盛安冬
戚国庆
刘健
余五建
机构
南京理工大学
中国南方工业集团公司
出处
《计算机仿真》
CSCD
2002年第6期10-12,共3页
文摘
该文首先介绍了C3I系统的简要构成 ,接着基于实际工程要求 ,提出了融合和相关等航迹数据实时处理的方法 ,并给出了一个仿真算例。依据本方法编制的软件已应用于某C3I系统 ,并已通过靶场动态飞行试验。
关键词
C^3I系统
实用航迹
数据
处理
信息
融合
数据融合处理算法
Keywords
Trajectory
Data processing
C^3I
分类号
E919 [军事]
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职称材料
题名
基于流量分比控制技术的多路配气系统的研究
被引量:
1
2
作者
韦杨杰
高先和
杨冰洁
朱小漫
刘凯
汪海
机构
合肥学院先进制造工程学院
出处
《菏泽学院学报》
2023年第2期76-82,共7页
基金
安徽省高等学校省级质量工程项目(2021jxt)
安徽省高等学校校级研究生协同育人基地建设项目(2021Yxt)。
文摘
针对国内芯片制造业中对标准气体的需求,在传统的单路配气系统上,研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理,构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环配气控制系统.同时通过不同量程的稀释气体的配置,对比了基于数据融合算法和均值滤波算法下的气体流量控制误差,分别为±0.3%和±0.8%.实验表明该系统稳定,误差范围在±0.3%,响应时间不超过30 s.
关键词
气体流量控制
滞后补偿
数据融合处理算法
芯片制造
Keywords
gas flow control
hysteresis compensation
data fusion processing algorithm
chip manufacturing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
C^3I系统中的实用航迹数据处理
盛安冬
戚国庆
刘健
余五建
《计算机仿真》
CSCD
2002
0
下载PDF
职称材料
2
基于流量分比控制技术的多路配气系统的研究
韦杨杰
高先和
杨冰洁
朱小漫
刘凯
汪海
《菏泽学院学报》
2023
1
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职称材料
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