基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法

加工周期是晶圆制造系统的关键指标,对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划。利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题,设计了预测模型的动态更新机制;考虑到生产线数据记录不准确的情况,比较了多种回归算法,以实例验证了所提方法的有效性。