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单晶锗光学表面数控高速抛光优化试验
被引量:
4
1
作者
金寿平
付跃刚
王淇
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期76-81,共6页
为研究单晶锗镜片表面光洁度无法达到要求的加工技术难题,基于数控高速抛光方法,开展了聚氨酯和沥青两种抛光模的数控高速抛光优化试验,以Preston理论为基础,通过不断优化工艺流程和参数,结合运动轨迹仿真和功率谱密度计算,对比分析了...
为研究单晶锗镜片表面光洁度无法达到要求的加工技术难题,基于数控高速抛光方法,开展了聚氨酯和沥青两种抛光模的数控高速抛光优化试验,以Preston理论为基础,通过不断优化工艺流程和参数,结合运动轨迹仿真和功率谱密度计算,对比分析了两种抛光模的加工效率和表面质量控制能力.试验结果表明:两种抛光方式均能获得较高的面形精度,聚氨酯抛光模具有较高的加工效率,但光学表面微观形貌控制能力较差,沥青模抛光得到的表面粗糙度RMS相比聚氨酯模提升近3nm.通过单晶锗光学表面数控高速抛光试验,最终优化并提出了聚氨酯初抛光与沥青精抛光相结合的方式,并进行了试验验证.
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关键词
单晶锗
数控高速抛光
表面粗糙度
面形精度
抛光
效率
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职称材料
题名
单晶锗光学表面数控高速抛光优化试验
被引量:
4
1
作者
金寿平
付跃刚
王淇
机构
国家科学技术奖励工作办公室科技成果管理处
长春理工大学光电工程学院
哈尔滨工业大学航天学院
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期76-81,共6页
文摘
为研究单晶锗镜片表面光洁度无法达到要求的加工技术难题,基于数控高速抛光方法,开展了聚氨酯和沥青两种抛光模的数控高速抛光优化试验,以Preston理论为基础,通过不断优化工艺流程和参数,结合运动轨迹仿真和功率谱密度计算,对比分析了两种抛光模的加工效率和表面质量控制能力.试验结果表明:两种抛光方式均能获得较高的面形精度,聚氨酯抛光模具有较高的加工效率,但光学表面微观形貌控制能力较差,沥青模抛光得到的表面粗糙度RMS相比聚氨酯模提升近3nm.通过单晶锗光学表面数控高速抛光试验,最终优化并提出了聚氨酯初抛光与沥青精抛光相结合的方式,并进行了试验验证.
关键词
单晶锗
数控高速抛光
表面粗糙度
面形精度
抛光
效率
Keywords
single crystal germanium
high speed numerical control polishing
surfaceroughness
surface accuracy
polishing efficiency
分类号
TU375 [建筑科学—结构工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶锗光学表面数控高速抛光优化试验
金寿平
付跃刚
王淇
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
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