一种新的外差干涉信号处理方法──相位及相位整数测量法

介绍了一种新的外差干涉信号处理方法──相位及相位整数测量法。用此方法不仅可使干涉测量的分辨率提高到λ／１０００～λ／２０００，而且扩大了测量范围，解决了大范围、动态测量位移的问题。文中还给出了用此方法进行信号处理的外差干涉仪测量压电陶瓷动态位移的实验结果。

一种新型的纳米级外差干涉信号处理方法

本文介绍了一种新的用于纳米级外差干涉信号处理方法。该方法采用了相位及相位整数周期测量法，使外差干涉测量的分辨率提高到０．３ｎｍ。本文给出了采用该方法的外差干涉仪的实验结果。