元素六公司新推新型砂轮用金刚石单晶

元素六公司新近推出PremaDia系列的一种新型砂轮用金刚石单晶——PDA600s。PDA600S是一种人造单晶金刚石，专门被设计用于磨削领域，其用途与天然单晶金刚石产品（如PDA655）基本相同。

基于Bi_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)体系的陶瓷结合剂金刚石砂轮制备及其对单晶硅的磨削性能

针对陶瓷结合剂烧结温度高的问题,提出一种基于Bi_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)的新型低温陶瓷结合剂。分析添加纳米SiC和纳米ZrO_(2)对结合剂物相组成、流动性和力学性能的影响,并探索添加核桃壳粉造孔剂对金刚石砂轮微观形貌的影响;制备基于Bi_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)体系的陶瓷结合剂金刚石杯形砂轮,测试其对单晶硅晶圆片的磨削性能。结果表明:添加纳米SiC会导致陶瓷结合剂中出现一定量的Bi单质,破坏结合剂的[BiO_(4)]玻璃网络;添加纳米SiC及纳米ZrO_(2)后,结合剂的流动性降低;随烧结温度上升,结合剂的流动性、抗弯强度和硬度有增大的趋势,在560℃烧结时结合剂的抗弯强度和硬度达到最大。随着造孔剂含量的增大,砂轮中大气孔的数量显著增多、尺寸显著增大。在砂轮线速度为12.56 m/s,工件转速为5.23 m/s,进给速度为0.1μm/s条件下,使用以M10/20金刚石(粒度号为800目)制备的砂轮磨削加工单晶硅晶圆片,其磨削比为790,表面粗糙度为0.16μm。

细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量

为实现硅片高质量表面的超精密磨削,研究了5000目、8000目和30000目金刚石砂轮磨削硅片的表面质量。利用数学模型预测了硅片磨削表面的粗糙度Ra并对预测结果进行了试验验证,分析了硅片磨削表面的形貌特征;通过磨床主轴电机的电流变化对比分析了5000目、8000目和30000目砂轮磨削过程中的磨削力变化趋势。研究结果表明:8000目砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra小于10 nm,亚表面损伤深度小于150 nm,磨削过程中的磨削力稳定,磨削质量优于5000目砂轮,磨削过程的稳定性优于30000目砂轮。

基于新型金刚石砂轮的Al_2O_3陶瓷磨削性能

利用粉末注射成形和真空钎焊技术制备了一种新型金刚石砂轮，制备的新型金刚石砂轮具有金刚石把持力大、金刚石微刃有序排布等特点。进行了基于新型金刚石砂轮的Al2O3陶瓷磨削性能研究。实验结果表明：相对于普通树脂结合剂金刚石砂轮，新型金刚石砂轮磨削Al2O3陶瓷的加工表面形貌完整性较好，宏观裂纹和表面损伤相对较少；表面粗糙度较小，当进给速度为40mm／s、磨削深度为40μm时，加工表面粗糙度Ra在0．68μm左右；在相同实验条件下，新型金刚石砂轮的磨削力减小了12％～17％，磨削温度降低了80～120℃。

陶瓷结合剂砂轮研磨单晶金刚石试验研究

通过陶瓷结合剂金刚石砂轮对单晶金刚石的研磨试验 ,得出影响单晶金刚石研磨效率的几个主要因素以及每个因素与研磨效率之间的关系。根据对试验的观察与试验结果的分析 ,发现陶瓷结合剂金刚石砂轮对单晶金刚石的研磨综合效果良好 ;提出提高单晶金刚石研磨效率的方法。

树脂结合剂金刚石砂轮精密磨削单晶硅片的磨削力研究

通过对树脂结合剂金刚石砂轮磨削单晶硅片的轴向磨削力Fz的变化规律的研究,分析了单晶硅片在磨削过程中轴向磨削力与磨削工艺参数之间的关系。通过改变砂轮的轴向进给速度、砂轮线速度和砂轮粒度等工艺参数,找出了这些工艺参数对轴向磨削力Fz的影响规律,并建立了轴向磨削力的经验公式。结果表明:树脂结合剂金刚石精密磨削单晶硅片时,轴向磨削力随着砂轮的轴向进给速度vf和磨粒粒径的增大而增大,随着砂轮线速度vs的增大而减小,且这三个工艺参数中,砂轮轴向进给速度vf对轴向磨削力的影响最大。

金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究

分别选用2mm宽的树脂结合剂和金属结合剂金刚石砂轮,以缓进给磨削方式在单晶硅上进行开槽实验,研究砂轮类型、砂轮线速度、工作台进给速度等参数对沟槽加工质量的影响,同时探讨了表面陪片对提高磨削质量的作用。实验结果及分析表明:沟槽磨削质量与磨削参数和砂轮类型有关,与金属结合剂砂轮相比,使用树脂结合剂砂轮进行沟槽加工,单晶硅试样崩边尺寸较小,沟槽侧壁的表面质量较高;表面粘贴陪片后进行沟槽磨削可以显著降低沟槽两侧的崩边,提高磨削精度和效率。

单晶金刚石刀具研磨方法的探讨

本文介绍了单晶金刚石刀具的制作程序和方法。为了提高单晶金刚石刀具的研磨效率与刃口质量,本文从不同的砂轮类型、砂轮粒度、研磨方向等几个方面进行了分析,发现单晶金刚石刀具的粗磨应该采用大粒度的砂轮,并且尽量采用陶瓷结合剂砂轮。半精磨可以采用细粒度的金属结合剂砂轮或陶瓷结合剂砂轮,但是对要求刃口质量较高的刀具,精磨应该采用粒度尽可能细的金属结合剂砂轮。粗磨时要沿着金刚石的好磨方向,这样研磨效率会大大提高,而精磨时为了获得完美的刃口,应该尽量对刀刃采取逆磨,并适当的增加研磨时间。

大尺寸单晶金刚石磨抛一体化加工研究

金刚石因其优异的物理性质被视为下一代半导体材料,然而其极高的硬度、脆性和耐腐蚀性导致其加工困难,尤其是对于大尺寸的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)单晶金刚石(SCD)晶片而言,目前还缺乏一种高效、低成本的磨抛加工方法。本文提出一种基于工件自旋转的同心双砂轮磨抛一体化加工技术,在一次装夹中,先采用金刚石磨料的陶瓷内圈砂轮磨削单晶金刚石晶片表面,将单晶金刚石表面迅速平坦化,后采用金刚石与CuO混合磨料的外圈溶胶-凝胶(sol-gel,SG)抛光轮抛光单晶金刚石晶片表面,使其在较短时间内完成从原始生长面(Sa约46 nm)到原子级表面精度(Sa<0.3 nm)的加工。磨削加工中,硬质金刚石磨料的陶瓷砂轮高速划擦金刚石晶片表面,在强机械作用下获得较大的材料去除以及纳米级的光滑单晶金刚石表面,同时引起进一步的表面非晶化;SG抛光加工中,硬质金刚石磨料高速划擦单晶金刚石表面形成高温高压环境,进一步诱导CuO粉末与单晶金刚石表面的非晶碳发生氧化还原反应,实现反应抛光。磨抛一体化的加工技术为晶圆级的单晶、多晶金刚石的工业化生产提供借鉴。

晶硅和蓝宝石加工用金刚石工具

文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。

我国六面顶压机合成金刚石技术的历史性进展

我国六面顶压机生产金刚石在装备、原材料、合成工艺3个方面都取得了全方位的长足进步,达到了欧美高端产品的水平,这一变化引起了全世界超硬材料行业的极大关注。

CVD金刚石修整刀具

修整刀具一般能从磨削砂轮表面去除磨钝的陶瓷或研磨的颗粒，从而努力降低磨削温度和改善工件表面粗糙度，提高磨削砂轮加工出小公差工件的能力。修整刀具还用于精修磨削砂轮。以往，大多数修整和精修操作都是采用固定修整刀具送入旋转砂轮中的，这种修整刀具常常是用单晶金刚石或PCD制成的。

金刚石专用酚醛树脂粉

我公司主要生产超硬磨具原材料:1.金刚石专用酚醛树脂粉:该树脂粉为高档酚醛树脂粉加进口原材料改性而成,专用于金刚石树脂砂轮、金刚石树脂软磨片、磨盘、磨块、金刚石树脂超精磨片等产品;用该树脂粉做结合剂,制造出的金刚石磨具有更好的耐用度和磨削效率,制品的耐热温度和机械强度更高。2.聚酰亚胺树脂粉:该树脂粉是一种较好的金刚石砂轮和CBN砂轮结合剂,结合强度高、耐热性突出;制品使用在不加冷却液的磨削场合比较好。

单晶硅反射镜的超精密磨削工艺

为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究了超细粒度金刚石砂轮的磨削性能。通过砂轮主轴角度与工件面形之间的数学关系实现对磨削工件面形的控制。最后,采用超细粒度金刚石砂轮对Φ100mm×5mm的单晶硅反射镜进行了超精密磨削试验验证。试验结果表明,超细粒度金刚石砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra值小于10nm,亚表面损伤深度小于100nm,磨削后的单晶硅反射镜面形PV值从初始的8.1μm减小到1.5μm。由此说明采用该工艺磨削单晶硅反射镜能够高效地获得低损伤表面和高精度面形。

一种新型金刚石砂轮

一种新型金刚石砂轮。包括砂轮基体、若干研磨片、转芯，其中研磨片以同心圆的方式分为若干环层并分布在各同心圆周上，外环研磨片采用金属结合剂研磨片，内环研磨片采用树脂结合剂研磨片。本实用新型由于采用金属粘结剂研磨片与树脂粘结剂研磨片有机排列组成一体的结构，利用外层金属结合剂研磨片提高磨削效率，实现其粗加工，利用内层树脂结合剂研磨片获得良好的表面质量，保证其磨削精度，且结构简单、生产工艺不复杂。

2266231一种新型金刚石砂轮

一种新型金刚石砂轮。包括砂轮基体、若干研磨片、转芯．其中研磨片以同心圆的方式分为若干环层并分布在各同心圆周上，外环研磨片采用金属结合剂研磨片，内环研磨片采用树脂结合剂研磨片。本实用新型由于采用金属粘结剂研磨片与树脂粘结剂研磨片有机排列组成一体的结构．利用外层金属结合剂研磨片提高磨削效率，实现其粗加工．利用内层树脂结合剂研磨片获得良好的表面质量，保证其磨削精度，且结构简单、生产工艺不复杂。

陶瓷结合剂砂轮在现代工业发展中的地位

随着科技的发展，高强度、高耐磨、高硬度、耐高温，轻质新型材料的不断出现，同时机械加工也在向高质量、高精度、高效率、自动化方向的不断发展，树脂结合剂金刚石砂轮也越来越不能满足上述要求，陶瓷结合剂金刚石砂轮这一新兴磨具的出现解决了上述难题。

CBN砂轮及CBN磨床的最新发展及其优异性

CBN砂轮具有普通砂轮所没有的特性,在此仅就提高生产效率方面对CBN砂轮的使用方法加以阐述。 1、棱柱体单晶金刚石修整器的优点 首先对修整砂轮时所用单晶金刚石修整器的两种晶型,即八面体金刚石(前部锐利的角锥体)与棱柱体金刚石(具有0.2mm×0.3mm角的柱状体)进行比较。

2645853 双环金刚石砂轮

双环金刚石砂轮，它涉及刀具刃磨金刚石砂轮结构的改进。本实用新型由外环砂轮、内环砂轮、销钉组成；外环砂轮由外砂轮和外磨削体组成，外磨削体固定在外砂轮体的侧口上；内环砂轮由内砂轮体和内磨削体组成，内磨削体固定在内砂轮体的侧口上；外环砂轮与内环砂轮由销钉固定在一起，外环砂轮上的轴孔与内环砂轮上的轴孔同心。

2267123双层可调式金刚石砂轮

本实用新型涉及一种双层可调式金刚石砂轮，有一个基体，其内壁和外壁分别装有不同粒度或相同粒度的金刚石砂轮。两者之一以螺纹或直接与基体联接。另一则采用螺栓与基体连接。并可根据“吃刀”深度作相应调节，在平面铣磨条块和曲面铣磨透镜光学玻璃时，