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新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究
被引量:
4
1
作者
陈旭
张德胜
+2 位作者
齐京
陈丕瑾
朱秀珍
《真空电子技术》
2003年第5期46-48,共3页
对主要成分为Zr和Co的新型非蒸散消气剂进行了活化温度及吸气性能的实验研究。实验表明其活化温度为200~250℃,对N2,H2等活性气体有很好的抽速,对惰性气体He等无抽速。
关键词
新型非蒸散消气剂
激活温度
吸气性能
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职称材料
题名
新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究
被引量:
4
1
作者
陈旭
张德胜
齐京
陈丕瑾
朱秀珍
机构
清华大学电子工程系
出处
《真空电子技术》
2003年第5期46-48,共3页
文摘
对主要成分为Zr和Co的新型非蒸散消气剂进行了活化温度及吸气性能的实验研究。实验表明其活化温度为200~250℃,对N2,H2等活性气体有很好的抽速,对惰性气体He等无抽速。
关键词
新型非蒸散消气剂
激活温度
吸气性能
Keywords
New nonevaporable getter
Activation temperature
Sorption characteristics
分类号
TN107 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究
陈旭
张德胜
齐京
陈丕瑾
朱秀珍
《真空电子技术》
2003
4
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