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新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究 被引量:4
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作者 陈旭 张德胜 +2 位作者 齐京 陈丕瑾 朱秀珍 《真空电子技术》 2003年第5期46-48,共3页
 对主要成分为Zr和Co的新型非蒸散消气剂进行了活化温度及吸气性能的实验研究。实验表明其活化温度为200~250℃,对N2,H2等活性气体有很好的抽速,对惰性气体He等无抽速。
关键词 新型非蒸散消气剂 激活温度 吸气性能
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