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采用方形照明提高分辨率和焦深
被引量:
2
1
作者
B.W.Smith
L.Zavyalova
+2 位作者
S.G.Smith
J.S.Petersen
葛劢冲?
《电子工业专用设备》
2000年第2期48-56,64,共9页
:随着光学光刻技术向更小特征尺寸加工推进 ,必然要重视提高分辨率的方法。通过强、弱离轴方法的照明变形技术正引起极大的关注。特别是研究x、y定向的特征尺寸 ,照明分布形状可不一定是圆形的。介绍了采用直角特性的照明形状可提高成...
:随着光学光刻技术向更小特征尺寸加工推进 ,必然要重视提高分辨率的方法。通过强、弱离轴方法的照明变形技术正引起极大的关注。特别是研究x、y定向的特征尺寸 ,照明分布形状可不一定是圆形的。介绍了采用直角特性的照明形状可提高成像质量。讨论了方形照明的用途 ,并确定了它与光学邻近校正 (OPC)、像差及其它成像因素的关系。
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关键词
光学光刻分辨率
焦深
方形照明
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职称材料
题名
采用方形照明提高分辨率和焦深
被引量:
2
1
作者
B.W.Smith
L.Zavyalova
S.G.Smith
J.S.Petersen
葛劢冲?
机构
RochesterInstituteofTechnology
InternationalSEMATECH
出处
《电子工业专用设备》
2000年第2期48-56,64,共9页
文摘
:随着光学光刻技术向更小特征尺寸加工推进 ,必然要重视提高分辨率的方法。通过强、弱离轴方法的照明变形技术正引起极大的关注。特别是研究x、y定向的特征尺寸 ,照明分布形状可不一定是圆形的。介绍了采用直角特性的照明形状可提高成像质量。讨论了方形照明的用途 ,并确定了它与光学邻近校正 (OPC)、像差及其它成像因素的关系。
关键词
光学光刻分辨率
焦深
方形照明
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用方形照明提高分辨率和焦深
B.W.Smith
L.Zavyalova
S.G.Smith
J.S.Petersen
葛劢冲?
《电子工业专用设备》
2000
2
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