中大口径方形非球面镜高效数控抛光工艺实验研究

本文介绍了采用数控加工技术在自行研制的五轴数控抛光机床上,抛光中大口径方形非球面镜的加工工艺。针对中大口径方形光学元件的边部和角部难加工的情况,通过优化工艺参数以及完善设备的结构设计,确定合理抛光路径,结合控制软件进行抛光加工工艺实验,在一定程度上控制了边部的翘边和角部的塌边,得到了预期的实验结果:加工340mm×340mm的非球面光学元件,面型精度PV≤λ/5,表面粗糙度Rq≤1.2nm,加工效率得到了有效的提高,面型收敛趋于稳定。