金刚石n型掺杂的研究进展

对金刚石n型掺杂工艺中的施主元素的类型、机理、及所使用的基底材料和方法进行了综合评述 ,并对Ⅰ族元素 (Li,Na) ,Ⅴ族元素 (N ,P) ,Ⅵ族元素 (O ,S)等施主元素掺杂后的性能进行了比较 .分析表明 :采用CVD法 。